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日本芝浦shibaura电机直联式油旋转真空泵

日本芝浦shibaura电机直联式油旋转真空泵

产品型号: DRP系列

所属分类:

产品时间:2020-09-17

简要描述:日本芝浦shibaura电机直联式油旋转真空泵 DRP系列
由于采用了两阶段系统,终压力很低。
采用电机直接连接方式,结构紧凑,轻便,粉尘少,可以保持清洁的环境。
减少振动和噪音
易于维护的结构
由于带有气镇阀(蒸汽处理阀),因此可以抵抗蒸汽和可冷凝气体的排放

详细说明:

日本芝浦shibaura电机直联式油旋转真空泵 DRP系列

 

DRP系列的特点

  • 由于采用了两阶段系统,终压力很低。
  • 采用电机直接连接方式,结构紧凑,轻便,粉尘少,可以保持清洁的环境。
  • 减少振动和噪音
  • 易于维护的结构
  • 由于带有气镇阀(蒸汽处理阀),因此可以抵抗蒸汽和可冷凝气体的排放

使用

  • 溅射装置
  • 气相沉积设备
  • 各种等离子设备
  • 真空炉
  • 各种真空测试设备

日本芝浦shibaura电机直联式油旋转真空泵 DRP系列

DRP系列阵容

模型单位单位DRP-180YⅡDRP-360YⅡDRP-360Ⅲ
施工
附带旋转叶片式2级气镇阀
设计排气速度50 Hz,L /分钟150300300
60 Hz,L /分钟180360360
达到压力2.7 x 10 -2(* 2)2.7 x 10 -2(* 2)6.7 x 10 -2(* 2)
所需马达ACV,相,kW200、3、0.4(* 3)200、3、0.75(* 3)(* 4)200、3、0.73(* 3)(* 5)
进气口 NW25(* 6)NW25(* 6)NW25(* 6)
排气口 PS1PS1PS1
用油 TSR-1200TSR-1200TSR-1200
油量大号0.81.21.5
尺寸(* 1)宽x深x高(毫米)261 x 494.5 x 209261 x 572 x 172260 x 503 x 176
质量(* 1)公斤273834
水处理量升/小时0.20.40.4
噪声50 Hz,分贝(A)606158
60 Hz,分贝(A)636461
振动 振幅0.05mm以下
冷却方式 强制冷却(风冷)
     
模型单位单位DRP-800DRP-1500 
施工
附带旋转叶片式2级气镇阀
 
设计排气速度50 Hz,L /分钟7001,250 
60 Hz,L /分钟8401,500 
达到压力6.7 x 10 -2(* 2)6.7 x 10 -2(* 2) 
所需马达ACV,相,kW200、3、1.5(* 3)(* 4)200、3、2.2(* 3)(* 4) 
进气口 VG50VG50 
排气口 PS1 1/2PS2 
用油 TSR-1200TSR-1200 
油量大号2.33.5 
尺寸(* 1)宽x深x高(毫米)441 x 608 x 237496 x 721.5 x 253 
质量(* 1)公斤6796.5 
水处理量升/小时0.81.5 
噪声50Hz,分贝(A)6373 
60Hz,分贝(A)6776 
振动 振幅0.05mm以下 
冷却方式 强制冷却(风冷) 

* 1表示包括基座,电动机等在内的一组值。
* 2用MacLeod真空计测量
* 3全
封闭式外部风扇型电动机* 4 IE3规格
* 5 CE规格(相当于IE1)
* 6选件

 



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