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日本芝浦机电shibaura小型扩散油真空泵

日本芝浦机电shibaura小型扩散油真空泵

产品型号: ESV系列

所属分类:

产品时间:2020-09-17

简要描述:日本芝浦机电shibaura小型扩散油真空泵 ESV系列
在该系列中,为了获得从超高真空区域到高/中/真空区域的稳定压力,在超高真空下将环形加热器用于ESV-6及以下,将内部加热型护套加热器用于ESV-8及以上。它可以防止由于油的突然沸腾而引起的压力波动。
ESV系列提高了加热油的热效率(与我们公司相比),因此具有运行时间短,排气量大和临界背压高的特点。而且,液压油的量很小。

详细说明:

日本芝浦机电shibaura小型扩散油真空泵 ESV系列

ESV系列的功能

在该系列中,为了获得从超高真空区域到高/中/真空区域的稳定压力,在超高真空下将环形加热器用于ESV-6及以下,将内部加热型护套加热器用于ESV-8及以上。它可以防止由于油的突然沸腾而引起的压力波动。
ESV系列提高了加热油的热效率(与我们公司相比),因此具有运行时间短,排气量大和临界背压高的特点。而且,液压油的量很小。

使用例

  • 各种真空炉
  • 各种实验的排气装置
  • 管材制造设备
  • 各种成膜设备
  • 电子束焊接
  • 电子显微镜

日本芝浦机电shibaura小型扩散油真空泵 ESV系列

ESV系列阵容

模型单位单位ESV-3ESV-4ESV-6
大排气速度升/秒3805801,200
达到压力10 -610 -610 -6
工作压力范围10 -6至3.3 x 10 -110 -6至3.3 x 10 -110 -6至0.4
临界背压404040
大排气量帕升/秒93190260
用油 高腰F-4高腰F-4高腰F-4
油量大号0.120.180.3
垫片 

拜顿

拜顿

拜顿

加热器格式 

云母带

云母带

云母带

电压,相ACV,相

200、1

200、1

200、1

格式千瓦

0.55

0.75

1.2

进气口 

VG80

VG100

VG150

辅助端口 

VG25

VG25

VG50

冷却方式 

水冷

水冷

水冷

冷却水量L / min,在25℃时

1.1

1.5

2

辅助泵 

DRP-360Ⅲ或RP-360Z

DRP-800或RP-800ZⅡ

DRP-800或RP-800ZⅡ

挡板格式 

3C(雪佛龙)

4C(雪佛龙)

6C(雪佛龙)

带挡板的排气速度升/秒

165

240

450

挡板冷却水量L / min,在25℃时

1.1

1.5

2

机油倒流cm 3 / cm 2分钟

10 -8

10 -8

10 -8

材料圆筒

不锈

不锈

不锈

喷射

铁(镀镍)

铁(镀镍)

铁(镀镍)

大众公斤

8.5

11

20

     
模型单位单位ESV-8ESV-10ESV-12
大排气速度升/秒2,0003,0004,500
达到压力10 -610 -610 -6
工作压力范围10 -6至3.3 x 10 -110 -6至3.3 x 10 -110 -5至0.4
临界背压464037
大排气量帕升/秒400460800
用油 高腰F-4高腰F-4狮子A
油量大号0.61个1个
垫片 

拜顿

拜顿

氯丁橡胶

加热器格式 

种子

种子

种子

电压,相ACV,相

200、1

200、3

200、3

格式千瓦

1.6

2.5

3.2

进气口 

VG200

VG250

VG300

辅助端口 

VG50

VG50

VG80

冷却方式 

水冷

水冷

水冷

冷却水量L / min,在25℃时

2.5

6

辅助泵 

DRP-1500或RP-1200ZⅡ

DRP-1500或RP-1200ZⅡ

RP-1200ZⅡ×2

挡板格式 

8C(雪佛龙)

10C(雪佛龙)

12C(雪佛龙)

带挡板的排气速度升/秒

800

1,200

1,800

挡板冷却水量L / min,在25℃时

2.5

6

机油倒流cm 3 / cm 2分钟

10 -8

10 -8

10 -7

材料圆筒

不锈

不锈

铁(镀镍)

喷射

铁(镀镍)

铁(镀镍)

铁(镀镍)

大众公斤

二十五

45

55



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