日本芝浦机电shibaura小型扩散油真空泵 ESV系列
在该系列中，为了获得从超高真空区域到高/中/真空区域的稳定压力，在超高真空下将环形加热器用于ESV-6及以下，将内部加热型护套加热器用于ESV-8及以上。它可以防止由于油的突然沸腾而引起的压力波动。
ESV系列提高了加热油的热效率（与我们公司相比），因此具有运行时间短，排气量大和临界背压高的特点。而且，液压油的量很小。
| 模型 | 单位单位 | ESV-3 | ESV-4 | ESV-6 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 大排气速度 | 升/秒 | 380 | 580 | 1,200 | |
| 达到压力 | 帕 | 10 -6 | 10 -6 | 10 -6 | |
| 工作压力范围 | 帕 | 10 -6至3.3 x 10 -1 | 10 -6至3.3 x 10 -1 | 10 -6至0.4 | |
| 临界背压 | 帕 | 40 | 40 | 40 | |
| 大排气量 | 帕升/秒 | 93 | 190 | 260 | |
| 用油 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | ||
| 油量 | 大号 | 0.12 | 0.18 | 0.3 | |
| 垫片 | 拜顿 | 拜顿 | 拜顿 | ||
| 加热器 | 格式 | 云母带 | 云母带 | 云母带 | |
| 电压，相 | ACV，相 | 200、1 | 200、1 | 200、1 | |
| 格式 | 千瓦 | 0.55 | 0.75 | 1.2 | |
| 进气口 | VG80 | VG100 | VG150 | ||
| 辅助端口 | VG25 | VG25 | VG50 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷却水量 | L / min，在25℃时 | 1.1 | 1.5 | 2 | |
| 辅助泵 | DRP-360Ⅲ或RP-360Z | DRP-800或RP-800ZⅡ | DRP-800或RP-800ZⅡ | ||
| 挡板格式 | 3C（雪佛龙） | 4C（雪佛龙） | 6C（雪佛龙） | ||
| 带挡板的排气速度 | 升/秒 | 165 | 240 | 450 | |
| 挡板冷却水量 | L / min，在25℃时 | 1.1 | 1.5 | 2 | |
| 机油倒流 | cm 3 / cm 2分钟 | 10 -8 | 10 -8 | 10 -8 | |
| 材料 | 圆筒 | 不锈 | 不锈 | 不锈 | |
| 喷射 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | ||
| 大众 | 公斤 | 8.5 | 11 | 20 | |
| 模型 | 单位单位 | ESV-8 | ESV-10 | ESV-12 | |
| 大排气速度 | 升/秒 | 2,000 | 3,000 | 4,500 | |
| 达到压力 | 帕 | 10 -6 | 10 -6 | 10 -6 | |
| 工作压力范围 | 帕 | 10 -6至3.3 x 10 -1 | 10 -6至3.3 x 10 -1 | 10 -5至0.4 | |
| 临界背压 | 帕 | 46 | 40 | 37 | |
| 大排气量 | 帕升/秒 | 400 | 460 | 800 | |
| 用油 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | 狮子A | ||
| 油量 | 大号 | 0.6 | 1个 | 1个 | |
| 垫片 | 拜顿 | 拜顿 | 氯丁橡胶 | ||
| 加热器 | 格式 | 种子 | 种子 | 种子 | |
| 电压，相 | ACV，相 | 200、1 | 200、3 | 200、3 | |
| 格式 | 千瓦 | 1.6 | 2.5 | 3.2 | |
| 进气口 | VG200 | VG250 | VG300 | ||
| 辅助端口 | VG50 | VG50 | VG80 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷却水量 | L / min，在25℃时 | 2.5 | 五 | 6 | |
| 辅助泵 | DRP-1500或RP-1200ZⅡ | DRP-1500或RP-1200ZⅡ | RP-1200ZⅡ×2 | ||
| 挡板格式 | 8C（雪佛龙） | 10C（雪佛龙） | 12C（雪佛龙） | ||
| 带挡板的排气速度 | 升/秒 | 800 | 1,200 | 1,800 | |
| 挡板冷却水量 | L / min，在25℃时 | 2.5 | 五 | 6 | |
| 机油倒流 | cm 3 / cm 2分钟 | 10 -8 | 10 -8 | 10 -7 | |
| 材料 | 圆筒 | 不锈 | 不锈 | 铁（镀镍） | |
| 喷射 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | ||
| 大众 | 公斤 | 二十五 | 45 | 55 | |
