日本ryuki小型热力流量计RM-155
质量流量计的基本配置包括热质量流量传感器，旁路层流量元件和桥式电路。电流流经缠绕在传感器周围的电阻器以产生热量。当从进气口进入的一部分气体流入传感器时，传感器的温度分布会发生变化，该温度分布会被桥接电路捕获并作为流量输出信号取出。
-尺寸紧凑，可进行高达60SLM类面积的流量测量。
・可以使用电源。
日本ryuki小型热力流量计RM-155
| 测量流量范围 （满量程显示） | 1SLM，2SLM，5SLM，10SLM 20SLM | （50SLM） |
|---|---|---|
| 流量单位 | SLM（0℃，1atm） | |
| 待测气体 | 空气，N2，O2 | |
| 流量精度 | FS±2％ | FS±3％ |
| 重现性 | 在±0.5％FS之内 | |
| 小工作压差 | 65Pa-2kPa以上 | 3kPa-9.8kPa或更高 |
| 无法使用的压力 | 980kPa（10kgf / cm2G） | |
| 耐压 | 980kPa（10kgf / cm2G） | |
| 外部泄漏标准 | 1×10-7 Pa ・ m3 /秒以下 | |
| 可用温度 | 5至60°C（保证精度：15°C至35°C） | |
| 流量输出信号 | 0-5VDC（输出阻抗45Ω） | |
| 使用电源 | + 15V±0.5VDC 40mA -15V ±0.5VDC 10mA | |
| 主机连接端口 | Rc1 / 4 | |
| 气体连接件质量 | SUS303，拜顿 | |
| 外形尺寸 | 59 x 26.6 x 65（毫米） | |
| 重量 | 350克 | |
