日本pureron腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器PC-601系列
半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并 和少量的水分反应，形成腐蚀生成物。这种物质是产生微粒子造成半导体工艺污染的原因。因此，我们采用了远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金® 开发出这种对应腐蚀性气体的压力传感器PC-601系列。
日本pureron腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器PC-601系列
规格
| 型号 | 表压※ | 绝对压 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PSI | 25G | 50G | 100G | 200G | 500G | 3000G | 15A | 25A | 50A | |
| 压力范围 | KPa | 0～172.4 | 0～344.7 | 0～689.5 | 0～1,378.9 | 0～3,447.3 | 0～20,684 | 0～103.4 | 0～172.4 | 0～344.7 |
| kgf/cm2 | 0～1.76 | 0～3.52 | 0～7.03 | 0～14.06 | 0～35.16 | 0～210.9 | - | - | - | |
| torr | - | - | - | - | - | - | 0～776 | 0～1,293 | 0～2,586 | |
| 精度（％ 全量程) | ±0.5％ | ±0.25％ | ±0.5％ | |||||||
※所有的表压类型可以连成。
| 过载压力 | 全量程×2 |
|---|---|
| 激励电源电压 | DC 5V(MAX 6V) |
| 保存温度范围 | -20℃～93℃（未通电） |
| 温度补偿范围 | -1℃～71℃ |
| 温度漂移 | ±0.05% FS/℃ |
| 信号输出 | 100mV(20mV/V) ※25G ・50Gは、50mV(10mV/V) |
| 跨度 | 100mV±15mV ※25G ・50Gは、50mV ± 15mV |
| 偏移量 | 0mV ± 10mV |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec |
| 气体（液体）接触部分 | 哈司特镍合金® |
| 连接零件 | 1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它 |
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