日本Atmax喷嘴在半导体制造领域的使用示例

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产品时间：2023-01-04

简要描述：日本Atmax喷嘴在半导体制造领域的使用示例
精密涂层
由于可以精确地雾化和喷射少量液体，因此可以在半导体和电子零件的制造过程中通过喷涂形成薄膜。
与其他喷涂系统相比，喷涂易于控制，设备配置也很简单。其特点是一个喷嘴具有从厚涂层到薄膜的各种条件。

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日本Atmax喷嘴在半导体制造领域的使用示例

行业使用示例[半导体/电子零件制造]

Atmax喷嘴在半导体制造领域的使用示例

精密涂层

由于可以精确地雾化和喷射少量液体，因此可以在半导体和电子零件的制造过程中通过喷涂形成薄膜。
与其他喷涂系统相比，喷涂易于控制，设备配置也很简单。其特点是一个喷嘴具有从厚涂层到薄膜的各种条件。

精密设备清洗

尖锐的粒度分布使其适用于需要精确度的精确清洁。由于雾化所需的压缩气体的流速小于常规喷嘴的流速，因此Atmax喷嘴的冲击小且喷射速度低。

使用*的液体剂进行涂层工作

有两个主要组成部分。标准喷嘴材料是SUS316L，因为它是非常简单的组件结构，但是可以使用与使用环境相匹配的材料进行制造。另外，在接液部分不使用O形圈。

使用细颗粒的加工工作

可以容易地连续注入包含固体的浆液。为了通过喷雾获得雾化，从小孔口喷雾是普遍的理论，但是Atmax喷嘴能够雾化大直径的喷雾。

日本Atmax喷嘴在半导体制造领域的使用示例

Atmax喷嘴AM型

Atmax Nozzle AM型喷嘴能够精确地喷洒非常少量的液体药剂，并获得平均粒径约为5μm的细颗粒。它是一个非常小的喷嘴，可以在20至750瓦的空气压缩机中运行。