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日本东丽toray半导体,电子元件氧气分析仪

日本东丽toray半导体,电子元件氧气分析仪

产品型号: MS-500

所属分类:氧气

产品时间:2020-08-27

简要描述:日本东丽toray半导体,电子元件氧气分析仪MS-500
最多可同时测量8个点
浓度显示范围很广,从ppm到100%。
非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。
传感器为直接插入型(用于真空16/25/40的NW法兰)
具有特殊涂层的高度耐用的传感器,可进一步提高耐用性

详细说明:

日本东丽toray半导体,电子元件氧气分析仪MS-500

 

氧气分析仪MS-500

  • 最多可同时测量8个点
  • 浓度显示范围很广,从ppm到100%。
  • 非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。
  • 传感器为直接插入型(用于真空16/25/40的NW法兰)
  • 具有特殊涂层的高度耐用的传感器,可进一步提高耐用性

日本东丽toray半导体,电子元件氧气分析仪MS-500

MS-500设备规格

测量原理氧化锆浓缩池类型
形状分体式(转换器:壁挂式,传感器:直接插入式)
显示方式4位数字显示(密度显示)
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol%O 2 10 -20至10 -0 atm
自动量程
重复性在±0.5%FS 0-1%范围内或更高
±1%FS或±
0.1ppm中,以较大者为准小于0-1%范围0-1ppm,atm范围超出保证的浓度范围
测量点数1〜8
样气条件压力10 -3至200 KPa(压力)
流量0.5至5,000 mL / min或0 mL / min(自发扩散状态的测量)
湿度露点低于环境温度
温度0-100°摄氏度
其他请勿包含腐蚀性气体(氟气,氯气,硫化物气等),含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。
比较气大气层
记录仪输出仅变速箱输出
变速箱输出RS-232C
报警输出没有
热身时间6分钟以内
尺寸MS-500(控制器)92(W)×44(H)×120(D)(不包括突起)
MS-510(转换器)100(W)×40(H)×88(D)(不包括突起)
传感器单元SD16NW总长100mm(感应部分Φ11×39,主体部分Φ40×51)
SD25NW总长100 mm(感应部分Φ11×42,主体部分Φ40×48)
SD40NW总长100mm(感应部分Φ11×41,主体部分Φ40×49)
大众MS-500(控制器)约0.6Kg
MS-510(转换器)约0.5kg
传感器单元SD16NW约0.2Kg
SD25NW约0.2Kg
SD40NW约0.35Kg
外部连接真空法兰之一(NW16、25、40)
使用电源24VDC±10%


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