对准自动膜厚测量系统

产品型号： F60

所属分类：测厚仪

产品时间：2021-06-16

简要描述：日本filmetrics对准自动膜厚测量系统F60
F60自动测绘膜厚测量系统是F50的高duan机型，具有缺口检测、自动基线功能和互锁机制。
只需将样品放在载物台上，然后单击测量按钮即可自动执行对齐、基线和膜厚映射。

详细说明：

日本filmetrics对准自动膜厚测量系统F60

F60自动测绘膜厚测量系统是F50的高duan机型，具有缺口检测、自动基线功能和互锁机制。
只需将样品放在载物台上，然后单击测量按钮即可自动执行对齐、基线和膜厚映射。

半导体	抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等

日本filmetrics对准自动膜厚测量系统F60

模型	F60-t	F60-t-UV	F60-t-近红外	F60-t-EXR
测量波长范围	380 – 1050nm	190 – 1100nm	950 – 1700nm	380 – 1700nm
膜厚测量范围	20nm – 70μm	5nm – 40μm	100nm – 250μm	20nm – 250μm
准确性	± 0.2% 薄膜厚度		± 0.4% 薄膜厚度	± 0.2% 薄膜厚度
准确性	2纳米	1纳米	3纳米	2纳米

可以测量硅晶片上的氧化膜、抗蚀剂等。只需设置样本，对齐、参考等将*自动完成。