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日本电子技研iwatsu电容式位移计ST-3541

日本电子技研iwatsu电容式位移计ST-3541

产品型号:

所属分类:位移计

产品时间:2020-11-03

简要描述:日本电子技研iwatsu电容式位移计ST-3541
ST-3541采用“无源型",探头中没有内置电路。因此,稳定性大大提高。此外,由于没有电路部件,因此紧凑且具有用于结合的z佳结构。
它是纳米位移测量,精密工作台位置检测/姿态控制,平面度和厚度测量的理想选择。

详细说明:

日本电子技研iwatsu电容式位移计ST-3541

ST-3541采用“无源型”,探头中没有内置电路。因此,稳定性大大提高。此外,由于没有电路部件,因此紧凑且具有用于结合的z佳结构。
它是纳米位移测量,精密工作台位置检测/姿态控制,平面度和厚度测量的理想选择。

特征

出色的高稳定性

下图是在25测量在恒温浴组稳定性的一例℃。
您可以看到已经进行了12小时的长时间稳定测量。

[图] ST-3541 + ST-0403-100稳定性数据

实现高分辨率测量

最大分辨率0.3nm-rms下
图显示了由步进电信号驱动的压电元件的位移。
即使只有1 nm的小步进信号,也可以很好地检查响应。

  • 1nm步进
    波形:频率0.15Hz步进宽度1nm。
    频段设定:100Hz

优异的线性度0.05%

通过使用不需要线性化器的测量方法,可以实现出色的线性度。


  • 较小的探头使安装更容易由于探头主体没有内置电路,因此尺寸已大大减小。
    这大大扩展了结合到测量系统中的自由度。
  • 使用专用的连接电缆,可以
    在通道之间进行同步操作。即使使用多台设备,也可以通过连接通道进行同步操作。同步操作可防止通道之间的干扰并稳定测量结果。
  • 您可以减少系统构建的成本。
    当使用多个通道时,只有通过按需供电才可以扩展,因此可以降低系统构建成本。

可以在真空中进行测量

通过使用与真空兼容的定制探头,可以测量真空中的位移。

[图]自定义真空探针

日本电子技研iwatsu电容式位移计ST-3541

应用领域

  • 精密定位,位置检测,半导体的姿态控制,精密处理,显微镜等
  • 压电元件的振动和振幅测量等
  • 硅片,金属板,精密加工零件等的平面度和厚度测量
  • 测量轴跳动,表面跳动和精密电机的圆度等
  • 纳米位移测量


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