低膨胀膜/有机膜的厚度方向和低膨胀玻璃/金属的微小热膨胀可以以1nm的小分辨率进行检测。
测量热膨胀的方法包括推杆法，光学干涉法，远摄法和电容器法。
采用双光路迈克尔逊激光干涉测量技术，可实现z精que的测量。
通过采用零摩擦平移镜，可以通过简单地将样品端面加工成球形表面来容易地进行测量。
另外，可选的石英垫片可用于在改变温度的同时测量低膨胀膜所需的厚度方向。双光路迈克尔逊激光干涉式热膨胀仪LIX-2是业内唯yi的商用型号。
日本advance激光热膨胀仪LIX-2 series
日本advance激光热膨胀仪LIX-2 series
| 模型 | LIX-2M | LIX-2L |
|---|---|---|
| 温度范围 | 室温〜700℃ | -150-200℃ |
| 样品尺寸 | φ3至6 mm x长度10 mm至15 mm长度方向的两端均球形加工 | |
| 测量气氛 | ➀真空中➁低压高纯度氦气 | |
| 测量方式 | 双光路迈克尔逊型激光干涉法 | |
| 安装面积 | 机身约W2000毫米x D800毫米 |
|---|---|
| 需要电源 | 主机AC100V 15A（带插座和接地）2个位置 |
| 要求接地 | D级（接地电阻100Ω以下） |
| 冷却水 | 自来水或蒸馏水3 L / min以上，压力0.15 MPa以上 |
