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日本sanyu electron台式快速涂布机

日本sanyu electron台式快速涂布机

产品型号: SC系列SC-701MkⅡ

所属分类:其他设备

产品时间:2021-03-15

简要描述:日本sanyu electron台式快速涂布机SC系列SC-701MkⅡ
直流溅射类别中系列中小的超紧凑机型
配备皮拉尼真空计,以确保成膜条件的可重复性
配备手动百叶窗作为标准装备

详细说明:

日本sanyu electron台式快速涂布机SC系列SC-701MkⅡ

 

特征

 

  • 直流溅射类别中系列中小的超紧凑机型
  • 配备皮拉尼真空计,以确保成膜条件的可重复性
  • 配备手动百叶窗作为标准装备
  • 使用专yong的样品台和载物台可以轻松更改TS之间的距离。
  • 由于可以涂钨,因此也可以用于制备高分辨率SEM的样品。

应用/结果示例

  • 各种设备的电极膜附件
  • 用于制造反射薄膜等的应用

日本sanyu electron台式快速涂布机SC系列SC-701MkⅡ

基本规格

 

阴极φ2英寸直流磁控管/平板型电极
适用对象金/铂/金-钯/铂-钯/银/钯/钨/镍/钼/铬/钛/铝
压力测量皮拉尼真空计
压力控制针阀手动控制
引入直径外径φ6mm一键式安装
工艺气体氩气
真空泵直联式旋转泵:20L / min(带自动泄漏)
箱体尺寸内径φ90×D90mm(SUS制)
样品交换方法前门开合式
尺寸(宽/深/高)机身:160/450 / 290mm RP:295.5 / 156 / 199.5mm
重量身体:9公斤RP:9公斤


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