日本特许机器tokkyokiki台式隔振台EHS/DHS/DAS/SRD/SVD
包括半导体行业在内的超精密加工领域的制造、检测和测量，正在将精密度深化到纳米和埃。这是一系列 OS 浮动办公桌，准确捕捉这些时代的需求，并为超微振动提供隔离空间。
我们准备了支持更大直径的半导体和液晶基板、由于更大的底座而导致更大的检查设备和更重的产品阵容。
该系统可以通过与制造检测线和众多选项相匹配的简单设计进行精美配置。
针对超精密检查/测量设备的高性能防振台
EHS-68（带下搁板）
| 模型 | EHS-68 | EHS-78 | EHS-87 | EHS-107 |
|---|---|---|---|---|
| 隔振台外形尺寸 (W x D x Hmm) | 600 x 800 x 750 | 700 x 800 x 750 | 800 x 700 x 750 | 1,000 x 700 x 750 |
| 产品重量（公斤） | 170 | 190 | 190 | 220 |
| 允许安装重量（kg） | 120 | |||
| 隔振方式 | 空气弹簧和摆球支撑系统（PAT .P / USP） | |||
| 固有频率 (Hz) | 垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8 | |||
| 调平 | 机械泡自动找平方式：供给压力0.4Mpa | |||
| 浮动部分 | SUS304 抛光处理 | |||
| 选项 | 工作罩、抗震固定支架、下搁板 | |||
| 其他 | 可用于无尘室（带集中排气机构和防静电接地功能） 符合RoHS指令 | |||
台式隔振台 DHS
DHS 系列是在 EHS 系列上带有工作罩的型号。您可以工作而不必担心触摸浮动部分。
DHS-68（带下搁板）
| 模型 | DHS-68 | DHS-78 | DHS-87 | DHS-107 |
|---|---|---|---|---|
| 隔振台外形尺寸 (W x D x Hmm) | 650 x 850 x 750 | 750 x 850 x 750 | 850 x 750 x 750 | 1,050 x 750 x 750 |
| 产品重量（公斤） | 175 | 195 | 195 | 225 |
| 允许安装重量（kg） | 120 | |||
| 隔振方式 | 空气弹簧和摆球支撑系统（PAT .P / USP） | |||
| 固有频率 (Hz) | 垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8 | |||
| 调平 | 机械泡自动找平方式：供给压力0.4Mpa | |||
| 浮动部分 | SUS304 抛光处理 | |||
| 选项 | 抗震固定支架，下搁板 | |||
| 其他 | 可用于无尘室（带集中排气机构和防静电接地功能） 符合RoHS指令 | |||
日本特许机器tokkyokiki台式隔振台EHS/DHS/DAS/SRD/SVD
台式隔振台DAS
兼容光学显微镜/粗糙度仪等大负载
DAS-68（带下层架）
| 模型 | DAS-68 | DAS-78 | DAS-87 | DAS-107 |
|---|---|---|---|---|
| 隔振台外形尺寸 (W x D x Hmm) | 650 x 850 x 750 | 750 x 850 x 750 | 850 x 750 x 750 | 1,050 x 750 x 750 |
| 产品重量（公斤） | 180 | 200 | 200 | 230 |
| 允许安装重量（kg） | 200 | |||
| 隔振方式 | 空气弹簧 | |||
| 固有频率 (Hz) | 纵横2.0-3.0 | |||
| 调平 | 机械泡自动找平方式：供给压力0.4Mpa | |||
| 浮动部分 | SUS304 抛光处理 | |||
| 选项 | 抗震固定支架，下搁板 | |||
| 其他 | 可用于无尘室（带集中排气机构和防静电接地功能） 符合RoHS指令 | |||
台式隔振台 SRD/SVD
配备测量显微镜/粗糙度仪等。
SVDA (wing, Saidodesu
click (ED), monitor stand, mouse
scan / with keyboard stage)
| 模型 | SRDA | SVDA | SRDC | 直流电源 | SRDR |
|---|---|---|---|---|---|
| 隔振台外形尺寸 (W x D x Hmm) | 590 x 720 x 715 | 770 x 720 x 715 | 590 x 720 x 715 | 770 x 720 x 715 | 590 x 720 x 715 |
| 产品重量（公斤） | 70 | 105 | 70 | 105 | 70 |
| 允许安装重量（kg） | 120 | 200 | 120 | 200 | 45 |
| 隔振方式 | 空气弹簧 | 特制橡胶弹簧垫 | |||
| 固有频率 (Hz) | 纵横2.0-3.0 | 垂直和水平 8.0 到 12.0 | |||
| 调平 | 机械泡自动找平方式：供给压力0.4Mpa | 手泵补水手动调节 | 特制橡胶弹簧垫 | ||
| 浮动部分 | SPCC（三聚氰胺树脂涂层） | ||||
| 选项 | 侧翼、侧桌 (ED) ED、显示器支架、鼠标/键盘支架 | ||||
关于台式隔振台的使用：如果安装设备的重心位置超过短边标示尺寸的1/2高度，请联系我们。
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