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日本富士工业fuji在线式单组分密度计

日本富士工业fuji在线式单组分密度计

产品型号: FUD-1 Model-13

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产品时间:2020-06-28

简要描述:日本富士工业fuji在线式单组分密度计FUD-1 Model-13
产品总览
该模型在保持FUD-1 Model-13的优势(如可维护性和高精度在线测量)的同时,还具有用于半导体制造过程的小型单元型振荡器。

详细说明:

日本富士工业fuji在线式单组分密度计FUD-1 Model-13

产品总览

该模型在保持FUD-1 Model-13的优势(如可维护性和高精度在线测量)的同时,还具有用于半导体制造过程的小型单元型振荡器。

 

单组分密度计的特点

可以进行实时浓度测量,并且可以轻松构建浓度管理系统。

  • 配备模拟DC 4-20mA和数字RS232C作为标准配置
  • 标配测量误差输出和报警输出
  • 配备自诊断功能和错误信息显示为标准配置
  • 紧凑轻便的电池式变送器可以直接安装在生产线上
  • 由于润湿材料的质量以及采用PFA的小产量设计,因此对化学药品没有影响。
 

值得

  • 可以高精度连续测量
  • 免维护,无需定期调整/校准
  • 易于安装,因为在安装过程中无需进行任何调整
  • 通过实时输出轻松反馈到过程

 

用途

  • CMP过程中的CMP浆料或氧化剂浓度控制
  • 稀释过程中各种化学浓度的管理(H2O2,TMAH,HNO3,H2SO4,HCl等)
  • 清洁过程中的清洁液浓度控制(HF,NH4OH,KOH,IPA等)
  • 控制蚀刻过程中的蚀刻液浓度(HF,H2SO4等)
  

日本富士工业fuji在线式单组分密度计FUD-1 Model-13

规范

格式FUD-1模型13
测量参数超声波传播速度/温度
显示LCD(密度,温度,声速/各种参数)
输出信号模拟DC 4-20mA(可自由设定浓度值)
数字RS232C(浓度,温度,声速,错误代码)
警报上下限测量错误
电源供应AC100V-240V 50 / 60Hz(也可以使用DC24V)
施工面板安装类型(符合DIN标准)/板载安装类型(可以选择安装在防雨箱中)
环境温度0至50℃RH85%以下(无冷凝)
0至100℃特殊规格-10至160℃(100℃宽度)
功能输出范围设置,警报输出设置,浓度显示移动平均值,浓度显示偏移和增益设置功能,自诊断功能,故障保护功能,异常值消除
RS485输出(不能与RS232C同时输出)
选项温度输出(4-20mA DC)
渠道高达10ch
兼容发射器型号13  SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5


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