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日本富士工业fuji在线式多组分密度计

日本富士工业fuji在线式多组分密度计

产品型号: FUD-1 Model-53

所属分类:

产品时间:2020-06-28

简要描述:日本富士工业fuji在线式多组分密度计FUD-1 Model-53
产品总览
该模型在保持FUD-1 Model-53的优势(例如可维护性和高精度在线测量)的同时,还具有用于半导体制造工艺的小型单元型振荡器。

详细说明:

日本富士工业fuji在线式多组分密度计FUD-1 Model-53

 

产品总览

该模型在保持FUD-1 Model-53的优势(例如可维护性和高精度在线测量)的同时,还具有用于半导体制造工艺的小型单元型振荡器。

多组分浓度计的特点

可以实时完成3个组件的2个组件密度计侧

  • 标配模拟DC 4-20mA(2线)和数字RS232C
  • 标配测量误差输出和报警输出
  • 配备自诊断功能和错误信息显示为标准配置
  • 紧凑轻便的电池式变送器可以直接安装在生产线上
  • 由于润湿材料的质量以及采用PFA的小产量设计,因此对化学药品没有影响。
 

值得

  • 可以高精度连续测量
  • 免维护,无需定期调整/校准
  • 易于安装,因为在安装过程中无需进行任何调整
  • 通过实时输出轻松反馈到过程

 

用途

  • CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度控制
  • 清洗过程中清洗液的浓度控制(HF + HNO3 ・ HF + H2SiF6等)
  • 控制蚀刻过程中的蚀刻溶液浓度(TMAH +抗蚀剂,TMAH + Si等)
  

日本富士工业fuji在线式多组分密度计FUD-1 Model-53

规范

模型FUD-1 53型
 转换器
测量参数超声波传播速度,温度,电导率
显示LCD(密度1,密度2,温度,声速,电导率/各种参数)
输出信号模拟DC 4〜20mA:2个系统(可自由设定浓度值)
数字RS232C(浓度1,浓度2,声速,温度,电导率,错误代码)
报警上下限测量错误:2个系统
电源供应AC100V-240V 50 / 60Hz两用30VA(也可使用DC24V)
施工面板安装类型(符合DIN标准)
环境温度转换器0-50°摄氏度
RH85%以下(无凝结)
功能输出范围设定功能,警报输出设定功能,浓度显示移动平均值功能,浓度显示偏移及增益设定功能,自诊断功能,故障保险功能,异常值取消功能,温度时间常数校正
选项温度输出(DC4〜20mA)
RS485输出(不能与RS232C同时输出)
通道(校准曲线)高达7ch
合适的发射器示例SA-20S29 +电导率仪,SA-20S27 +电导率仪

 

 模型 发射机
SA-20S29 +电导率仪SA-20S27 +电导率仪
 震动元素 PZT(2MHz)x1PZT(2MHz)x2
 测量元件 热敏电阻热敏电阻
 测量液体温度 0-100°摄氏度 0-80°摄氏度
 施工 流通池 流通池
 湿件材料 PFA / PFA涂层 PFA
 联合 3/4配件(可更换) 3/4配件(可更换)
 耐压性 0.3兆帕 0.3兆帕
 流量 5l / min(推荐) 5l / min(推荐)
 重量 2.5公斤 2.5公斤
 电缆 专用电缆6m专用电缆6m
 环境温度 5-45°摄氏度 5-45°摄氏度


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