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日本富士工业fuji高精度单组分密度计

日本富士工业fuji高精度单组分密度计

产品型号: FUD-1 Model-130

所属分类:

产品时间:2020-06-28

简要描述:日本富士工业fuji高精度单组分密度计FUD-1 Model-130
Model-130是一个概念模型,强调了所测量浓度的稳定性,
在需要高精度和高稳定性密度计侧的半导体制造过程中非常有效。

详细说明:

日本富士工业fuji高精度单组分密度计FUD-1 Model-130

产品总览

该模型被定位为FUD-1 Model-13的高端模型,可满足诸如高精度和高稳定性测量等客户需求。

单组分密度计的特点

Model-130是一个概念模型,强调了所测量浓度的稳定性,
在需要高精度和高稳定性密度计侧的半导体制造过程中非常有效。
 

值得

  • 可以高精度连续测量
  • 免维护,无需定期调整/校准
  • 易于安装,因为在安装过程中无需进行任何调整
  • 通过实时输出轻松反馈到过程

 

用途

  • CMP过程中的CMP浆料或氧化剂浓度控制
  • 稀释过程中各种化学浓度的管理(H2O2,TMAH,HNO3,H2SO4,HCl等)
  • 清洁过程中的清洁液浓度控制(HF,NH4OH,KOH,IPA等)
  • 控制蚀刻过程中的蚀刻液浓度(HF,H2SO4等)
  

日本富士工业fuji高精度单组分密度计FUD-1 Model-130

规范

格式FUD-1 130型
测量参数超声波传播速度/温度
显示LCD(密度,温度,声速/各种参数)
输出信号模拟DC4-20mA(可设置任何浓度值)
数字RS232C(密度/温度/声速/错误代码)
警报上下限测量错误
电源供应AC100V-240V 50 / 60Hz两用30VA(也可使用DC24V)
施工面板安装类型(符合DIN标准)
功能输出范围设定功能,警报输出设定功能,浓度显示移动平均功能,浓度显示偏移及增益设定功能,自诊断功能,故障保险功能,异常值取消功能
选项温度输出(DC4〜20mA)
渠道高达10Ch
电缆6米
湿件材料PFA涂料
配件公称直径为1/2到1英寸的各种类型
测量环境转换器
10-40 ℃ RH85%以下
 发射机 5-45°摄氏度
 测量液体温度 0-50°摄氏度
 耐压性 0.3兆帕
流量5 l / min以下


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