日本电测densoku高精度荧光X射线膜测厚仪仪COSMOS-3X
采用双重过滤器
通过使用除数值滤波器以外的机械滤波器（双重滤波器），可以在jia条件下进行测量，从而始终获得gao的精度。
完整的报告创建功能
通过采用MS-Windows软件，可以轻松捕获测量屏幕，并增强报告创建功能。使用多任务功能，即使在测量期间也可以进行包括报告创建在内的其他处理。
5种准直仪
小准直仪为0.1φmm，可以测量极小的零件。标准，0.1、0.2、0.5、1.0、2.0
另外，有两种特殊规格可供选择。
・ 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
・ 0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5
自诊断功能和X射线管维护功能
使用自诊断功能，可以迅速解决设备故障。此外，增加了显示X射线管使用时间和使用寿命的功能，以支持维护安全。
膜厚测量中的频谱显示
通过多通道进行光谱分析高速处理使显示被测物的光谱变得容易。（处理速度约2-3秒）
在测量部分显示监控图像
在Windows屏幕上捕获X射线照射单元并显示X射线照射单元。准直仪提供了改变尺寸的放大倍率功能。
Be 窗口X射线管（选件）提高的性能（高精度）
我们已经为荧光X射线胶片厚度计准备了Be窗口X射线管。
通过使用Be窗口X射线管，Cr测量和Ni测量的重复测量精度显着提高。
与标准X射线管的比较
Sn等的高能量（高原子序数）测定与以前相同。
当测量低能量（低原子序数）的Cr和Ni时，Cr的重复性提高了约3倍，Ni的重复性提高了约2倍。
当测量两层时，中间层中Ni的测量精度提高了约20％。
通过使用Be窗口X射线管，Cr的荧光X射线强度比常规标准设备的荧光X射线强度高大约9倍。
因此，可以在短时间内以与以前相同的精度进行测量。
请考虑使用此Be窗口X射线管。
日本电测densoku高精度荧光X射线膜测厚仪仪COSMOS-3X
| 类型 | 手动阶段 | ||
| 测量头 | 尺寸（毫米） | 170 x 110 | |
| 运动量 | X（毫米） | 70 | |
| Y（毫米） | 70 | ||
| Z（毫米） | 80 | ||
| 被测物体高度（大） | 80 | ||
| 尺寸（毫米） | 402（宽）x 430（深）x 580（高） | ||
| 重量（公斤） | 48 | ||
| 样品负荷（kg） | 3 | ||
| 电脑 | 尺寸（毫米） | 机身182（W）x 383（D）x 372（H） /显示器412（W）x 415（D）x 432（H） | |
| 重量（公斤） | 主机6.8 /显示器2.8 | ||
| 打印机 | 重量（公斤） | 3.4 | |
| 电源供应 | AC100V±10V的 | ||
（注）规格如有变更，恕不另行通知。
| X射线源 | 油浸式微聚焦X射线管 靶：钨 管电压50kV， 管电流可变 |
| 照射方式 | 顶部垂直照射法 |
| 探测器 | 比例柜台 |
| 准直仪 | 5种（自动切换类型） 0.1、0.2、0.5、1.0、2.0φmm （选件）：0.05、0.1、0.2、0.3、0.5 ，φ ：0.05×0.5、0.5×0.05、0.1、0.2、0.5φ |
| 样品观察 | CCD彩色相机 |
| 电脑 | 兼容PC / AT的 15英寸彩色显示器 |
| 打印机 | 喷墨打印机 |
| 测量对象 | 原子序数22（Ti）至82（Pb） 原子序数21以下可通过吸收法测定 |
| 过滤 | 2种（Co，Ni）自动切换 |
| 可测范围 | 原子数22至24：0.02至约20μm 原子数25至40：0.01至约30μm 原子数41至51：0.02至约70μm 原子数52至82：0.05至约10μm |
| 校正曲线 | 自动校准曲线创建功能 多点校准曲线 |
| 校正功能 | 基础校正 |
| 应用 | 单层镀层测量 两层镀层测量 三层镀层测量 合金膜厚成分比同时测量 化学镀镍测量 |
| 测量功能 | 输出样式设定 频谱测量 两点之间的距离测量 |
| 数据处理功能 | 统计显示：平均值，标准偏差，大值，小值，范围，Cp，Cpk 直方图 轮廓显示 x-R控制图 |
| 安全功能 | X射线电源钥匙开关 故障安全功能 |
| 其他特性 | 密码功能 设备维护 |
