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日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-A标准型

日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-A标准型

产品型号:

所属分类:隔震台

产品时间:2020-11-13

简要描述:日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-A标准型
配备了于VAAV的超灵敏加速度传感器。准确掌握微小的振动。
高速计算由我们独chuang的主动隔振算法执行,而振动立即由高精度大功率执行器消除。

详细说明:

日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-A标准型

配备了于VAAV的超灵敏加速度传感器。准确掌握微小的振动。

高速计算由我们独chuang的主动隔振算法执行,而振动立即由高精度大功率执行器消除。

我们地板侧慷慨地部署了超灵敏的加速度传感器,并通过前馈控制实现了世界z高水平的隔振性能。

在保持高性能且高精度的隔振性能而没有共振现象的同时,还可以在短时间内同时衰减由安装台的激振力施加的振动。

配备舞台前馈功能和波形显示软件作为标准设备。

特点

  • 振动传递特性无共振。实现从低频到高频的超宽带隔振。
  • 具有6个自由度的高精度位置控制始终可实现稳定的隔振性能和位置精度。
  • 可以选择具有高响应速度的大流量阀,以应对较大的移动负载。
  • 安全可靠的设计与CE标记兼容。(控制器SAC-07)
  • 标配台前馈功能和振动波形显示分析软件。

用途

  • 在半导体制造和检查设备中,它被用作对付需要精细处理的晶片上的振动的对策,并且被用作对付晶片移动台上的振动的对策。
  • 在液晶制造和检查设备中,其目的是在龙门架或工作台显着移动时快速衰减振动,并立即对其进行检查或纠正,这有助于缩短节拍时间。
  • 在超精密机床中,它用于消除工作台上的振动以进行精密加工,同时支持大载荷的运动。

日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-A标准型

规范

模型可安装质量(1个单位)尺寸(1个单位)
VAAV-550A270-900公斤215(宽)x 160(深)x 170(高)毫米
VAAV-1000A500-1700公斤225(宽)x 210(深)x 170(高)毫米
VAAV-2200A1100-3700公斤280(宽)x 240(深)x 208(高)mm
VAAV-4000A2100-7000公斤330(W)x 270(D)x 208(H)毫米
VAAV-10000A5000-17000公斤465(宽)x 400(深)x 240(高)mm
VAAV-20000A11400-38000公斤600(W)x 600(D)x 284(H)毫米
VAAV-30000A15000-50000公斤700(W)x 700(D)x 182(H)毫米
HA-450水平执行器480(宽)x 365(深)x 405(高)毫米
 


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