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日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-H超薄型

日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-H超薄型

产品型号:

所属分类:隔震台

产品时间:2020-11-13

简要描述:日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-H超薄型
我们在地板侧慷慨地部署了超灵敏的加速度传感器,并通过前馈控制实现了世界z高水平的隔振性能。
在保持高性能且高精度的隔振性能而没有共振现象的同时,还可以在短时间内同时衰减由安装台的激振力施加的振动。

详细说明:

日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-H超薄型

配备了专用于VAAV的超灵敏加速度传感器。准确掌握微小的振动。

高速计算由我们独chuang的主动隔振算法执行,而振动立即由高精度大功率执行器消除。

我们在地板侧慷慨地部署了超灵敏的加速度传感器,并通过前馈控制实现了世界z高水平的隔振性能。

在保持高性能且高精度的隔振性能而没有共振现象的同时,还可以在短时间内同时衰减由安装台的激振力施加的振动。

配备舞台前馈功能和波形显示软件作为标准设备。

特点

  • 在具有与VAAV-A系列相同的性能的同时,可以将设备的整体高度保持较低。
  • 气动控制可实现各个方向的高精度位移和位置控制。
  • 可以选择具有高响应速度的大流量阀,以应对较大的移动负载。
  • 安全可靠的设计与CE标记兼容。(控制器SAC-07)
  • 标配台前馈功能和振动波形显示分析软件。

用途

  • 在半导体制造和检查设备中,它被用作对付需要精细处理的晶片上的振动的对策,并且被用作对付晶片移动台上的振动的对策。
  • 在液晶制造和检查设备中,其目的是在龙门架或工作台显着移动时快速衰减振动,并立即对其进行检查或纠正,这有助于缩短节拍时间。
  • 在超精密机床中,它用于消除工作台上的振动以进行精密加工,同时支持大载荷的运动。

日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-H超薄型

规范

模型可安装质量(1个单位)尺寸(1个单位)
VAAV-1000-110H500-1700公斤240(宽)x 240(深)x 110(高)毫米
VAAV-2200-110H1100-3700公斤350(W)x 350(D)x 110(H)毫米
VAAV-4000-110H2100-7000公斤420(宽)x 420(深)x 110(高)mm
VAAV-7000-120H3600〜12000公斤450(W)x 450(D)x 120(H)毫米
 


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