日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701AT
特征
应用/结果示例
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701AT
基本规格
阴极 | φ2英寸/ 2极面对电极 |
溅射靶 | 包含金靶 |
蚀刻目标 | 包括Al目标 |
膜厚设定方法 | 预设方法/带膜厚监视器的数字显示 |
气体导入机制 | 针阀 |
真空泵 | 直连式旋转泵:20l / min(带自动泄漏) |
排气操作 | 自动的 |
箱体尺寸 | 内径φ120mm x D120 mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开合式 |
尺寸(宽/深/高) | 主体:225/420 / 320mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身体:15公斤 RP:9公斤 |