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测量残留气体成分的智能真空计

测量残留气体成分的智能真空计

产品型号: SC-10

所属分类:真空计

产品时间:2021-05-07

简要描述:日本vista用于测量残留气体成分的智能真空计SC-10
用于测量残留气体成分的真空计用于真空设备的健康检查!

详细说明:

日本vista用于测量残留气体成分的智能真空计SC-10

 

用于测量残留气体成分的真空计用于真空设备的健康检查!

・通过监视残留气体成分,可以监视真空装置的健康状况,并可以立即发现异常。
・用此一台可以测量真空度(总压力)和气体成分(分压)。

 

SC-10智能真空计是我们开发的一种全新的自动真空计,可以测量残留气体成分和总压真空。
总压力真空是从大气压到10-7Pa的超高真空,当总压力达到约50Pa时,气体成分的分压会自动启动,并且可以测量约10-5Pa至10-6Pa ...
可以在粗糙的压力范围内测量气体成分并检查泄漏,这是常规气体分析仪无法做到的。

 

由于智能真空计可以测量残留气体的成分,因此可以快速了解真空设备的声音状况,例如排气装置中的水蒸气泄漏和脱气。下两个图显示了同一设备的不同排气数据,但在图1中显示了正常排气,其中水蒸气是主要成分,并且确定了总压力真空,而在图2中,氮气是由于泄漏造成的。可以看到,从下降的排气开始大约5分钟后,排气停止了,如果继续排气,则大约10分钟后,氮含量变得比水蒸气大,并且总氮含量下降。压力真空停止。通过使用智能真空计,您可以快速发现排气异常及其原因,而仅通过监视总压力真空是无法理解的。

使用智能真空计不仅可以发现泄漏,还可以喷射氦气或氩气以找到泄漏的位置。图3显示了在泄漏点上喷射氩气时的智能真空计的数据,但是可以看到,由于氩气的增加和氮气的减少,这里存在泄漏。在停止泄漏之后,如图4所示,氮气和氧气减少,水蒸气成为主要成分,并成为典型真空装置的残留气体成分。

日本vista用于测量残留气体成分的智能真空计SC-10

测定原理

SC-10通过测量总压力的冷阴极压力表的放电颜色来区分气体成分。通过利用光的颜色(波长)根据气体成分而不同的事实来测量该成分。也可以在SC-10的光谱模式屏幕上查看气体成分的波长。
由于气体成分测定部设置在大气压侧,因此不会被真空中的气体污染,因此能够不受污物的影响而进行测定。此外,冷阴极规没有灯丝,因此可用于坚韧耐用的应用。



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