超细粒子/纳米粒子制造设备
超细粒子/纳米粒子制造装置的目的是通过在氢气（与氩气混合）或氮气等气体气氛中通过电弧熔化来强制蒸发材料以制造超细粒子/纳米粒子。它被开发出来。超细颗粒和纳米颗粒的目标材料范围很广，包括各种金属、合金和陶瓷。
该设备的基础是基于国立材料科学研究所（现为国立材料科学研究所）的（第 1226806 号以外的 3 件）的研究原型，与拥有丰富经验的发明者一起制造。经验和诀窍。我做到了。
这种超细颗粒/纳米颗粒制造设备基本上是一种直流电弧熔炼炉。
换句话说，当用氢气作为气氛气体对金属进行电弧熔化时，金属极易蒸发，而且在正常真空中金属蒸发速率高于1980年代金属蒸发的奇特现象， Uda, Ohno, Okuyama 等人是在材料研究所（现为材料研究所）发现的。从那时起，已经证明在直流电弧熔炼炉中使用改进的设备生产了大量的金属、合金和陶瓷纳米颗粒。
纳米粒子不是在真空状态下生成的，而是在含有氢气（有时使用氮气和氧气）的氩气（可接受惰性气体）气氛（大气压）中，将纳米粒子电弧放电到要制造的材料上当放电停止时，纳米粒子的生成停止。氢气具有强制蒸发制成纳米颗粒的作用，随着大气中氢浓度的增加，纳米颗粒的生成速度也加快。
Attotech Co., Ltd. 与上述现象的发现者合作开发了一种世界上的新型纳米粒子制造设备，该设备拥有丰富的经验和技术诀窍。
释放到氢-氩气氛中的纳米颗粒被气体循环气流携带到远离发生室的收集器（过滤器）并被收集。此外，已经分离出纳米颗粒的氢-氩气通过循环泵返回纳米颗粒生成室并重复使用。
1、纳米颗粒发生器为密闭式，过滤循环气体耗气量小，纳米颗粒生产无副产物，是一种无污染的制造方法。
2、纳米颗粒形成原料的形状是任意的（块状、板状、线状、粒状等）。
3、由于纳米粒子是通过强制蒸发现象产生的，蒸发材料的功耗比传统方法小两个数量级以上，是一种节能的制造方法。
该设备可以生产多种纳米颗粒，包括金属、合金和陶瓷。
在金属的情况下，大多数金属在氢气气氛中通过电弧熔化制成纳米颗粒。
（例如，Mg、Sc、Ti、Zr、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Al、Si、Ge、 Sn、Pb、La、Nd 等）
在合金的情况下，它们像金属一样被制成纳米颗粒，但原材料的合金成分和纳米颗粒的成分可能会根据合金的类型而有所不同。
在创建复合粒子的情况下，根据气体类型和所用材料的组合，有可能发现新的纳米粒子。例如，由金属（Ti）和陶瓷（TiN）结合而成的单一复合纳米粒子（Ni-TiN）是一种自然界中不存在的新型材料。它可以由该设备制造。
