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氧气分析仪在半导体/液晶/电子元器件等领域的相关应用

发布时间:2020-10-16 点击量:55

日本东丽TORAY氧气分析仪MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

氧气表MS-500

  • 最多可以同时测量8个点
  • 浓度范围从ppm到100%均可显示。
  • 非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。
  • 传感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法兰)
  • 特殊涂层应用于高度耐用的传感器,以进一步提高耐用性。

MS-500设备规格

测量原理

氧化锆轻型电池

形状

分体式(转换器:壁挂式,传感器:直接插入式)

显示方式

4位数字显示(密度显示)

测量范围

0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0大气压
自动范围

重复性

在±0.5%FS 0-1%范围内或以上
±1%FS以下或≤±
0.1ppm大于0-1ppm的0-1%内,atm范围超出保证的浓度范围

测量点数

1-8

样气条件

压力

10 -3至200 KPa(绝对压力)

流量

0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然扩散状态的测量)

湿度

露点低于环境温度

温度

0-100℃

其他

不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。

比较气

大气层

记录仪输出

仅变速箱输出

变速箱输出

RS-232C

报警输出

没有

热身时间

6分钟以内

尺寸

MS-500(控制器)

92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)

MS-510(转换器)

100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)

传感器单元

SD16NW

总长100 mm(感应部分Φ11×39,主体部分Φ40×51)

SD25NW

总长100mm(感应部分Φ11×42,主体部分Φ40×48)

SD40NW

总长100 mm(感应部分Φ11×41,主体部分Φ40×49)

大众

MS-500(控制器)

约0.6Kg

MS-510(转换器)

约0.5kg

传感器单元

SD16NW

约0.2Kg

SD25NW

约0.2Kg

SD40NW

约0.35Kg

外部连接

真空法兰之一(NW16、25、40)

使用电源

24VDC±10%

 

氧气计LC-450A,LC-450D

LC-450A,LC-450D


  • 可以显示很宽的浓度范围,从测量到的浓度范围内的ppm水平到100%。
  • 改进的传感器耐用性
    氧气传感器经过特殊处理,以提高其耐用性。
  • 交流宽电源AC100-240VAC(LC-450A)
    * LC-450D由24V DC驱动
  • 紧凑且易于安装
    深度比我们的传统型号还要短,并且不会占用太多空间。
  • 符合RoHS的产品
  • CE标志自我声明产品
    EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

氧气计LC-860

LC-860

  • 低浓度测量
    可以测量ppb到100%
  • 操作简便
    按功能可轻松操作
  • 吹扫功能
    比较气体更稳定,测量更精que(仅适用于具有吹扫功能的规格)
  • 高可靠性传感器传感器
    内部还可以进行防劣化处理(可选)

 

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