用于硬涂层膜厚检测设备-反射光谱膜厚计AFW-100W
[机理] 当
样品受到光照射时，它会根据膜厚显示出*的光谱。薄膜表面反射的光与穿过薄膜并在基板表面反射的光相互干扰。当光的相位匹配时，强度增加，而当光相移时，强度降低。反射计是一种通过分析该光谱来测量薄膜厚度的方法。
[优点] -
与 SEM 和触针式轮廓仪不同，无需接触即可进行测量。
- 与椭偏仪相比，便宜且易于使用。
将来也可以安装在量产设备中。
| 模型 | AFW-100W |
|---|---|
| 用 | 对于一般膜厚 |
| 设备配置 | 单元主体、测量台、2 分支光纤 (1.5m)、PC |
| 测量波长范围 | 380-1050nm |
| 膜厚测量范围 | 100nm～1μm（曲线拟合法） |
| 1 μm 至 60 μm (FFT) | |
| 测量再现性 | 0.2%-1%（视胶片质量而定） |
| 测量光斑直径 | 约7mm |
| 光源 | 12V-50W卤素灯 |
| 测量理论 | 曲线拟合法/FFT法 |
| 外形尺寸 (mm) | 测量台：W150 x D150 x H115 |
| 机身：W230 x D230 x H135 | |
| 大约重量 | 5.5kg * 不包括 PC |
| 公用事业 | AC100V 50 / 60Hz |
| 轰天猛将 | 卤素灯 |
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