日本ATA金属等离子镀膜机介绍 AT-ET, AT-ETa
特征
通过结合旋转泵并使其成为桌面型，实现了小空间。
操作简单，从排气到涂装完成自动响应。
采用数字显示器，便于了解真空度。
低价。
目标：Au Pt Ag Au-Pd In 可用。（Φ30 t：0.1 mm，In 为 0.5 mm）（另售）
使用 In 时，我们推荐与氩气兼容的 AT-ETa。
规格
| 溅射 法 | DC磁控溅射 放电电压：DC 1500V max 放电电流：从DC 10、20、30、40mA中选择 |
| 目标（单独出售） | 可以使用厚度为φ30、0.1mm的Au、Pt、Ag、Au(8)-Pd(2)和厚度为φ30、0.5mm的In。 |
| 使用的气体 | 空气，Ar（Ar 仅适用于 AT-ETA） |
| 达到真空压力 | 8Pa以下 |
| 腔室尺寸 | φ87mm |
| 样品架 | φ70mm |
| 真空排气 | 旋转泵（10L/min）*内置 |
| 尺寸 | 机身 250W x 370D x 325H |
| 重量 | 机身约15kg |
| 电源供应 | 交流 100V 3A |
涂层示例
◆ 不平整样品的图像（滤纸表面）（SEM图像）
放大倍率 x 2,000 倍
