kurabo液体成分浓度计的技术特点
ChemicAlyzer 是一种液体成分浓度计，采用采用光吸收原理的在线设计实现连续测量。自 1990 年以来，我们作为红外液体成分浓度计的先*开始了我们的业务，我们利用我们丰富的专业知识和技术，通过响应质量和化学浓度的需求来应对不断发展的半导体器件制造工艺。支持管理。
我们将通过灵活应对工艺和特殊化学品，以及通过高精度化学浓度测量“提前应对测量需求”，继续为优化制造工艺做出贡献。
1.高质量
为每个测量目标选择*佳波长并为每个设备创建校准曲线。
我们提供通过检验测试的稳定产品，机器差异很小。
2.高性能
ChemicAlyzer 是一款高性能密度计，具有出色的响应性和分辨率。
浓度控制是可能的，即使是快速分解的成分的最轻微变化也不会被忽视。
3.耐久性
有助于长期降低运行成本。
我们提供支持已超过 10 年，并拥有良好的业绩记录。
晶圆制造工艺
・抗蚀剂剥离剂的浓度控制
・酸碱清洗液的浓度控制
半导体制造工艺
・再生化学品的浓度管理
・氧化膜/氮化膜蚀刻液的浓度控制
型号：KIS-2□-R[-备注]
（□是表示化学种类的符号。）
| 设备配置 | 融合的 | |
|---|---|---|
| 设备尺寸 | W201 x D340 x H198 [毫米] | |
| 设备重量 | 约11公斤 | |
| 安装环境 | 地方 | 半导体制造工厂无尘室或同等设备 |
| 环境温度 | 20 至 30°C（无冷凝） | |
| 电源 | AC100-220V 80W | |
型号：KIS-2□-RP[-备注]
（□是表示化学种类的符号。）
| 设备配置 | 一体型 (*1) | |
|---|---|---|
| 设备尺寸 | W270 x D340 x H257 [毫米] | |
| 设备重量 | 约16公斤 | |
| 安装环境 | 地方 | 半导体制造工厂无尘室或同等设备 |
| 环境温度 | 20 至 30°C（无冷凝） | |
| 电源 | 100-220V 100W | |
型号：KIS-2□-A[-备注]
（□是表示化学种类的符号。）
| 设备配置 | 融合的 | |
|---|---|---|
| 设备尺寸 | W250 x D330 x H282 [毫米] | |
| 设备重量 | 约15公斤 | |
| 安装环境 | 地方 | 半导体制造工厂无尘室或同等设备 |
| 环境温度 | 20 至 30°C（无冷凝） | |
| 电源 | DC24V 100W | |
型号：RD-2□[-备注]
（□是表示化学种类的符号。）
| 设备配置 | 一体型 (*1) | |
|---|---|---|
| 设备尺寸 | W176 x D288 x H176 [毫米] | |
| 设备重量 | 约6公斤 | |
| 安装环境 | 地方 | 室内环境，无振动或腐蚀性环境 |
| 环境温度 | 10 至 30°C（无冷凝） | |
| 电源 | DC24V 30W | |
型号：TM-2□-A-FS[-备注]
（□是表示化学种类的符号。）
| 设备配置 | 分离细胞类型 | |
|---|---|---|
| 设备尺寸 | W196 x D340 x H260 [毫米] | |
| 设备重量 | 约11公斤 | |
| 安装环境 | 地方 | 半导体制造工厂无尘室或同等设备 |
| 环境温度 | 20 至 30°C（无冷凝） | |
| 电源 | AC100-220V 80W | |
