超小型金属镀膜设备MSP MINI的特点
一键自动镀膜。没有麻烦的操作。高性价比机器。它是MSP-1S的弟弟。
使用小目标（φ30mm）。实现低运行成本。Au 靶材作为标准配置。展示了其在台式扫描电镜预处理方面的能力。
可选的靶Ag膜具有优异的光泽度，便于光学显微镜观察透明材料表面。
概述
本设备是一种带有磁控靶的金属镀膜设备。用光学显微镜观察透明材料的表面（Ag 靶材）或用电子显微镜（Au/Ag 靶材）将导电膜应用于少量样品时使用。
特点
★MSP-mini是桌上SEM观察·光学显微镜用离子溅射成膜装置。
★为了将小面积的试样涂布时的浪费最小化，小面积靶（φ30mm）。
★样品台是直接放置滑动玻璃的平面样品台。
★低电压涂层，即使是敏感的样品也几乎没有样品损伤。
★用1个按钮全自动进行排气、涂层、泄漏。
★目标金属是金（Au）标准。可选的银。
★排气系统采用外置RP5升/min。
★使用辅助试料台（可选），可提高涂布率，提高效率可以成膜。
