200℃兼容半导体行业高温压力传感器ZT17的特点
●高达200°C的高温测量
●在高温测量中实现高精度
●不使用密封液体的安全可靠结构
●与专用放大器 组合使用
●搭载200℃高温测量新开发的压力传感器元件，对应200℃测量
●实现高精度的高温测量温度特性ZERO：±1.0%F.S.SPAN：±3.0%F.S.（温度补偿范围15～200℃）
●将测量气体的滞留抑制到最小限度，适用于气体供给系统的焊接结构特殊表面处理技术
使用温度范围
运用程序
支持超临界清洗、气化装置等半导体制造工艺的高温用途
通过适用于半导体气体供给系统焊接结构和特殊表面处理技术
将测定气体的滞留控制在最小限度。
日本naganokeiki长野计器半导体行业高温压力传感器ZT17
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