什么是利用MEMS压力传感器的气密性检测装置？
它是一种使用高性能和极小的 MEMS（微机电系统）压力传感器来确定压力变化（压差）是否存在泄漏的装置。
（MEMS：将机械元件、传感器、电子电路等集成在单一基板上的装置，利用MEMS压力传感器的特性来测量压力变化。）
CW的特点是通过测量被检产品外部密封空间（测量空间）的压力变化来判断产品有无泄漏，如下图所示。
待测的测量空间体积应尽可能小，以增加对压力变化的敏感度。
为了灵活处理不同形状的产品，测量空间采用硅橡胶并覆盖。
*产品被硅橡胶覆盖和密封的测量部分
*真空泵
*真空罐（稳压罐）
*压力调节阀等
*MEMS压力传感器和测量CPU
*电脑及应用软件
MEMS压力传感器板
▶通过使用硅橡胶，可以灵活适应被检产品的形状。
将难以检验的产品检验准确率提高*。
（小型对象产品、化学容器、食品包装等）
▶适用于含有液体的检查对象产品。您可以更改产品的方向。
▶压力传感器非常小（2mmx2mm）。设备设计自由度高。
▶分辨率：0.025Pa 绝对精度：±0.5hPa，相对精度±0.025hPa
