半导体晶片和玻璃面板运输过程中的振动测量技术
使用的测量仪器
高速3通道无线振动记录仪MVP-RF3-HC
测量对象
液晶玻璃面板
尺寸
约 1.5m x 1.9m x 1.8mm
测量位置
将记录器固定在玻璃基板的中心附近
固定方法
包装胶布
输送方向
Z轴方向（面板垂直方向）
加速度数据是从晶圆移动开始到停止的这段时间测量的。
高速3通道无线振动记录仪内置3轴加速度传感器，因此可以同时测量3个方向的加速度值。
<最大加速度>
<讨论>
在这种载体中，启动和停止时的加速度（振动）很大。
运输过程中加速度小。
开始移动时施加的加速度（振动）更大。
施加加速度（振动）的方向在 Z 轴方向（面板厚度方向）最大。
最大加速度（振动）约为9.8m/sec^2（约1.0G）
<FFT分析条件>
在上述“加速度波形数据"中，提取并分析“开始移动"时的数据（0至1秒）。
<FFT分析结果>
<讨论>
Z轴方向（面板厚度方向）在50Hz附近有一个谱峰。
→是面板的固有振动频率吗？
如果设备运行中有50Hz附近的频率成分，由于共振的影响，面板损坏的可能性增加，估计成品率会下降。
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