IXRF磁控离子溅射仪MSP-mini的特点
IXRF磁控离子溅射仪MSP-2S/MSP-Mini利用磁控电极在低电压下对样品溅射金属靶材，为SEM样品表面喷镀金属镀层，方便电镜观察，而MSP-mini是一款体积小巧，操作简便，无需通入特殊气体，使用时只需设置喷镀时间即可。
主要特点：
1. 阳极磁控型靶材水平装入：极低的放电电压减弱样品受到的例子损伤和热损伤；
2. 浮动样品台设计：使电流不通过样品，温度上升很少，同时减弱离子碰撞引起的损伤；
3. 操作简便：通过定时器控制从真空排气到启动放电电压的整个过程。
应用领域：
离子溅射仪在扫描电镜中应用十分广泛，通过向样品表面喷镀金、铂、钯及混合靶材等金属消除不导电样品的荷电现象，并提高观测效率，另外可以使用喷碳附件对样品进行蒸碳，实现不导电样品的能谱仪元素定性和半定量分析。
一键自动镀膜。没有麻烦的操作。高性价比机器。它是MSP-1S的弟弟。
使用小目标（φ30mm）。实现低运行成本。Au 靶作为标准包含在内。展示其在桌面 SEM 预处理方面的能力。
可选的目标Ag膜具有优异的光泽度，便于透明材料表面的光学显微镜观察。
概述
本设备是一种带磁控靶的金属镀膜设备。当用光学显微镜（Ag 靶）观察透明材料的表面或用电子显微镜（Au/Ag 靶）在少量样品上涂导电膜时使用。
