spectra在线膜厚测量装置技术分析
使用小型卡尔蔡司光谱仪，根据形状和尺寸对每种应用进行样品包装。
从薄膜和圆盘形状到玻璃板和圆柱状物体，如果同时使用显微光学系统，则可以将光线缩小到细点，并轻松测量样品的薄膜厚度。
硅、氧化硅、氮化硅
砷化镓
二氧化钛
光刻 胶
染料膜、油膜和彩色滤膜
影片
涂料和粘合剂
紫外光固化树脂
金属氧化膜、介电膜
聚合体
空气层
光盘、中药、光盘
| 测量厚度范围 | 0.5-100um（光学厚度）实际厚度是将上述除以折射率得到的值 |
|---|---|
| 保障 | 区域传感器、急停开关、联锁 |
| 测量时间 | 15分钟，1200毫米 |
| 权力 | AC100V・50，60Hz・5A以下 |
| 测量位置 | 设置在 0 到 1200 mm 之间，间距为 1 mm |
| 宽度分辨率 | 0.1-200mm可任意设定 |
| 宽度位置精度 | ±0.02毫米 |
| 设置波长范围 | 400-1000纳米 |
| 设置发光部分 | 5倍物镜 |
| 测量光斑直径 | φ1毫米 |
