半导体行业用ekkeagle磁流体密封件介绍
利用磁性流体沿着磁铁的磁力线接近的特性，它是一种通过将流体保持在旋转轴的密封部分来主要阻挡大气和真空的密封。 它用于半导体制造设备和平板显示器制造设备的真空密封，以及用于输送的机器人轴承的防尘密封。
磁流体密封中最重要的磁性流体由三个主要成分组成：（1）磁性颗粒，（2）表面活性剂和（3）基础流体。 所有这些都是在NOK集团内部开发和制造的，我们通过我们的分散技术，表面活性剂调节技术和超低蒸气压油制造技术，使用其他公司没有的优质流体提供磁性流体密封件。
1.磁流体密封原理
（1）它是通过干预流体阻塞大气和真空（或大气）的密封。
（2）由于密封部分没有滑动点，因此不会因磨损而产生异物，并且密封件扭矩低。
2. 磁性流体密封件的特点
（1） 磁性细颗粒、（<>） 表面活性剂和 （<>） 基础液都是 NOK 集团内磁性流体的组成部分。
开发和制造。
（2）由于它是由磁性流体的成分制成的，因此实现了其他公司无法达到的高温特性和低蒸气压特性。
a.我们可以处理高达220°C的环境温度。 〔E-01Pa〕
b. 它可以处理高达E-09Pa或更低（室温）而无需操作排气。
（3）多轴如同轴2轴和3轴，每个轴可以独立旋转。
