Nanotech简易型膜厚测试仪Autocrater工作原理分析

首先，滴下金刚石浆料，并用旋转的钢球抛光样品表面。	接下来，观察创建的抛光痕迹并 测量上图中 X 和 Y 之间的距离。
	根据测量的长度 X 和 Y 以及用于抛光的球的半径，根据上式计算膜厚度。

●规格
◆轴转速：100～3,000rpm
◆可设定旋转时间：1秒～60分钟
◆最大样品尺寸：φ40mm

*可选配亚克力盖。

Autocrater可以通过用旋转的钢球抛光样品并使用光学显微镜测量抛光痕迹的长度来测量薄膜厚度。

■无需样品制备

无需进行切割、抛光或树脂嵌入等样品制备即可创建横截面。
可以按原样测量沉积的样品。

■可评估多层膜

各层的膜厚可以通过化学处理等改变膜的组成作为色调的差异来评价。

■应用实例

TiN、CrN、TiAlN、TiCN 等、DLC、电镀、这些的多层膜

本试验机根据磨痕长度测量结果，采用ISO20423《弧坑磨削法测定涂层厚度》中规定的计算方法计算涂层厚度。此外，为了用该测试仪测量薄膜厚度，您将需要一个单独的显微镜来测量抛光痕迹的长度。

金刚石浆料和球