agc溅射靶材的特点及运用示例分析

agc溅射靶材的特点及运用示例分析

1. 光学薄膜用靶材

目的

1. 汽车和住宅用表面处理玻璃的低辐射涂层

2. 显示膜和玻璃减反射涂层

3. 触摸屏等光学调整膜（折射率匹配膜）

4. 信息电子玻璃用光学多层膜（CD、DVD等的镜子）

此处列出的质量数据仅供参考，并非保证值。关于下单时的质量保证，我们将另行协商决定。请注意，列出的质量数据如有更改，恕不另行通知。

特征

SC

• 由于其高强度、高导热性、均匀的结构靶材，实现了长期稳定放电。

• 与使用结晶Si成膜的情况相比，成膜速度提高了20%。

• 通过氧化反应溅射获得非晶SiO 2膜。

• 通过氧化反应溅射获得的薄膜是无色且高度透明的。

N.B.O.

• 成膜速度比金属铌成膜时快3倍以上。

• 通过氧化反应溅射获得非晶Nb 2 O 5膜。

• 通过氧化反应溅射获得的薄膜是无色且高度透明的。

TXO

• 成膜速度比金属Ti快7倍以上。

• 通过氧化反应溅射获得非晶TiO 2膜。

• 通过氧化反应溅射获得的薄膜是无色且高度透明的。

2. 高耐久性保护膜用靶材/中折射率薄膜用靶材

目的

1. 汽车、住宅用表面处理玻璃（有色玻璃、热反射玻璃等）保护膜

2. 显示薄膜（触摸屏等）的防反射涂层

3. 适用于条码阅读器和复印机顶部玻璃的防刮保护膜

4. 适用于所有需要耐碱、耐刮伤的薄膜的保护膜。

此处列出的质量数据仅供参考，并非保证值。关于下单时的质量保证，我们将另行协商决定。请注意，列出的质量数据如有更改，恕不另行通知。

特征

SX

• 通过氧化反应溅射获得非晶膜，该非晶膜平坦且具有低摩擦特性。

• 通过氧化反应溅射获得的薄膜是无色且高度透明的。

• 通过氧化反应溅射获得的薄膜具有优异的耐刮擦性和耐化学性。

英石

• 成膜速度比SX更快。

• 通过氧化反应溅射获得非晶膜，该非晶膜平坦且具有低摩擦特性。

• 通过氧化反应溅射获得的薄膜是无色且高度透明的。

• 通过氧化反应溅射获得的薄膜具有优异的耐刮擦性和耐化学性。

• 通过氧化反应溅射获得的薄膜具有液滴特性。

• 所得薄膜的折射率可在 1.7 至 2.0 之间变化，具体取决于目标组合物。

3. Low-E介电薄膜靶材/中折射率薄膜靶材

目的

1. 建材用Low-E（低辐射）薄膜用介电薄膜

2. 防反射膜等光学膜用中折射率膜

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特征

1. 使用我们的制造方法，圆柱形 SZ 靶材与背衬管实现了高粘合强度。因此，与传统的热喷涂靶相比，可以使用高功率溅射进行高速成膜。

2. 可制造总长3m以上的长圆柱形靶材。

4、透明导电膜用靶材

目的

1. 环境及能源玻璃（太阳能电池等）用透明电极

2. 显示玻璃用透明电极

3. 汽车和住宅玻璃用透明导电膜（热反射玻璃、电动汽车表面加热元件等）

4. 纤维、薄膜等抗静电涂膜

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特征

1. 相对密度90%以上的高密度ZnO靶材。

2. 与ITO相比，不易产生结节，可实现稳定的放电。

3. 可在纯氩气气氛下成膜。

4. 即使在室温下也可以形成结晶膜。