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准分子 UV 172nm固化技术介绍

发布时间:2024-01-10 点击量:396

准分子 UV 172nm固化技术介绍

“准分子",这个词对于很多人来说可能会比较陌生。但实际上,准分子光源技术已存在多年,并已成功应用于一些工业领域,例如表面处理、消毒、工业加工、照明等。但在光固化应用中,准分子光源显示出的特殊效果却使其在近年来获得了越来越多的关注。

“准分子紫外光固化技术",作为光固化技术的一种,近年来已成为了光固化应用领域的技术热点之一。以准分子板材为例,其消光和肤感效果,正是通过运用准分子紫外光固化技术来实现的。

在准分子板材的固化过程中,采用了准分子紫外光固化与中压紫外线汞灯固化两种技术相结合的方式。其中,172nm的准分子紫外线固化技术,作为其关键技术之一,正是实现准分子板材消光和肤感效果的主要技术。其原理在于172nm准分子光属于短波紫外线,穿透能力较为有限(100-500nm),仅能对涂层表面进行固化。通过这两种固化方式的结合使得涂层表面产生微观意义上的褶皱,形成了光的漫反射,从而达到消光和肤感的效果。

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适用于 6 英寸晶圆和掩模的长寿命紧凑型准分子 VUV 172nm 光源

风冷紧凑型准分子灯单元,灯长160mm,该单元专为VUV 172波长的照射而设计,系统结构简单,具有低成本、高性能的特点,准分子UV灯可实现低温精密处理。

紧凑型准分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圆和掩模基板的灯。其特点是简单紧凑、高可靠性风冷型、无需更换灯管的长寿命准分子灯。*1电源为AC100V。

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特点 

长寿命风冷准分子灯。无需更换灯管

    本来,准分子紫外线灯的结构是灯泡内部没有电极,因此理论上它们被认为是长寿命灯,在国外有时被称为准分子灯。然而,如今追求高照度的准分子灯由于灯管材料更轻、更薄、灯管温度更高以及紫外线能量导致的玻璃变形,往往导致灯管寿命较短,从而导致成本较高。

根据多年的现场经验,Excimer Co., Ltd.的风冷紧凑型准分子灯需要定期更换外部电极、高压电缆和高压部件,但不需要更换内部电极。灯管本身,实现低成本和高可靠性。*1

特征

  • 风冷方式,安装方便。

  • 灯管灯长160mm

  • 电源 AC100V 50/60Hz

  • 瞬时开/关灯功能。

  • 适合研究和开发。

应用领域

  • 表面润湿性和改性

  • 光化学

  • 反应性OH自由基过程

  • 抗蚀剂去除

  • UV O3工艺