半导体特殊材料气体、高纯/超高纯载气压力调节器介绍
Excellent Mega系列EX-M-20、EX-M-100（电解抛光品） | 一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、最大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） | He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下 |
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| ・EX-M-20 |  |
| | ・EX-M-100 |  |
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Mark II系列 EX-20mkⅡ-G1、G2/EX-100mkⅡ-G1、G2 | 一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、最大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） | He泄漏值：1X10 -9/-8 Pa·m3/秒以下 |
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| ・EX-20mkⅡ |  |
| | ・EX-100mkⅡ |  |
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TD系列EX-20-TD、EX-100-TD（适用于腐蚀性气体，特殊内涂层） | 一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、最大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） | He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下 |
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| ・EX-20-TD |  |
| | ・EX-100-TD |  |
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优秀 PM 系列 EX-20-PM、EX-100-PM（仅限面板安装型号） | 一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、最大流量：50ℓ、150ℓ/min・空气） | He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下 |
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| ・EX-20-PM |  |
| | ・EX-100-PM |  |
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Excellent Mega VC系列EX-M-20-VC（电解抛光品/主体连接部分VCR1/4加工） | 一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、最大流量：50ℓ/min・空气） | He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下 |
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| ・EX-M-20-VC |  |
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Excellent Mark II/VC系列EX-20-VC（主体连接部分VCR1/4加工） | 一次压力：20.0MPa以下/调整压力0.1～1.0MPa、最大流量：50ℓ/min・空气） | He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下 |
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| ・EX-20-VC |  |
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