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对10μm以上粗颗粒进行分类和计数的落尘计数器DTSP10-03介绍

发布时间:2024-05-04 点击量:188

对10μm以上粗颗粒进行分类和计数的落尘计数器DTSP10-03介绍

一种特殊的测量装置,可以测量落尘而不是浮尘。对10μm以上的粗颗粒进行分类和计数。

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*这是与“粗颗粒计数器"不同的测量装置。

您有这些问题吗?


  • 即使在无尘室中工作,异物的量也没有减少。

  • 尽管它是使用粒子计数器进行管理的,但不可能将其与缺陷关联起来。

  • 我想创造一个干净的环境,但不知道如何管理。

  • 我们很难处理从衣服等引入的异物。

通过测量落下的灰尘而不是漂浮的灰尘,可以采取针对附着异物的对策!

如果您想减少产品上附着的异物量,则应使用落尘计数器而不是颗粒计数器进行测量。

原因是:

① 导致附着异物的粗颗粒较大,范围为 10 μm 至 100 μm,无法用颗粒计数器测量。

② 大颗粒不会漂浮在空气中,而是沉降并成为落尘。

上面提到了两个。

因此,通过测量落下的灰尘而不是空气中微小的漂浮灰尘,可以管理附着的异物。

什么是落尘计数器?


这是一种特殊的测量装置,可以测量掉落的粗颗粒而不是漂浮的灰尘。

利用样品收集板(4英寸硅片),利用粗颗粒的沉降特性,对下落的10μm以上的粗颗粒进行分级计数。

它可以在任何可以放置硅晶圆的地方进行评估。

*硅晶片:圆盘状样品板,是表面平整度和耐热性优异的半导体基板。

本机是专门利用硅片样品对10μm至100μm粗颗粒进行分类和计数的测量设备。

对于头发等100μm以上的异物,由于其形状和重量,不适合使用硅片作为样品。

建议使用“DUSCAR®100 BLACK"来调查较大的异物。

落尘计数器详细资料



DTSP10-03
最小可测量粒径10μm

粒度分级10μm、30μm、50μm、100μm
可在11~99μm范围内任意设定值*3)
兼容晶圆尺寸4英寸2英寸*4)
最大测量面积φ80mmφ30mm
修剪功能是的没有任何
显示切换有(可单独显示)

*3) 任意分类设定的阈值是从校准曲线中获得的值,无法保证计数效率。

*4) 仅在 4 英寸区域内保证计数效率,对于 2 英寸区域无法保证计数效率,计数效率受到限制。