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nittadupont化合物半导体抛光耗材介绍

发布时间:2024-07-05 点击量:77

nittadupont化合物半导体抛光耗材介绍

化合物半导体具有比硅更快的电子传输速度、高速信号处理和低电压等性能,已发展成为日常生活中广泛应用的重要技术。我们拥有稳定实现高平坦度、低缺陷率和高生产率等优异抛光性能的产品阵容。

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复合晶圆用抛光垫

苏巴™系列


Suba™ 是一种基于无纺布的抛光垫,有助于在复合抛光中实现高抛光速率、高平整度和低缺陷率。支持GaAs、InP、LiTaO3、LiNbO3等多种应用。

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MH™系列 / EXTERION™系列


MH™垫是一种采用的泡沫控制技术制成的聚氨酯垫,可实现高平整度和长使用寿命。EXTERION™ 抛光垫定位为下一代 MH™ 抛光垫,有助于提高晶圆制造工艺等各种应用的质量。

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™系列


Supreme™ 系列是带有聚氨酯泡沫层的两层垫。可用于蓝宝石、SiC基板等复合抛光。它在保持平整度的同时实现了优异的抛光性能,例如高光滑度和低缺陷率。


复合晶圆抛光浆料

Machplaner™ MS 系列


在抛光蓝宝石等化合物或 LiTaO3 和 LiNbO3 等氧化物基材时,Machplaner™ MS 系列通过磨粒的最佳混合实现高抛光速率和高表面质量。

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