晶圆抛光晶片抛光过程中旋转工作台的平面度检测设备推荐
在半导体制造设备的晶片抛光过程中，需要保持装有晶片的上板和铺有抛光布的旋转工作台（下板）的平面度。如果出现问题，晶圆就会厚度不均匀，不平整，无法进行均匀的抛光。此外，曝光期间图像也会失焦。
晶圆的平整度对于后续的曝光工艺至关重要，因此在抛光过程中必须保持平整。
我们的数字水准仪用于保证上下平台的平整度。
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在垂直距离较窄的地方进行水平观察也可以！
| 物品 | 内容 | |
|---|---|---|
| 传感器部分 | 线性角 | X方向±0.3度 Y方向±0.3度 |
| 测量分辨率 | 0.0002度 | |
| 零点重复性 | ±0.001度或更小 | |
| 响应速度 | 50 毫秒或更短 | |
| 工作温度 | -10℃～＋50℃ | |
| 主体 | 微电脑 | 32位 |
| 模数部分 | 14位 | |
| 测量范围 | ±0.3度 | |
| A/D分辨率 | 0.000025度 | |
| 显示单元 | 0.0001度 | |
| 通过范围设定范围 | 0.0001度 | |
| 量程切换 | 0.01/ 0.001/ 0.0001 | |
| 超过显示 | 0.3度以上 | |
| 功能 | 传感器连接数 | 1通道 |
| 显示部分 | 4.3英寸彩色液晶触摸屏 | |
| 480×272点 | ||
| 电源 | 专用AC适配器DC6V/2A | |
| 4 节 AA 电池（1.5V） | ||
| 外形尺寸 | 监视器 | 宽96×深36×高145毫米 |
| 传感器（SUS底座） | φ50×H19毫米 | |
| 电缆 | 2米 | |
| 重量 | 监视器 | 392克 |
| 传感器 | 70克 | |
| 配件 | 4 节 AAA 电池（1.5V） | |
| 专用AC适配器DC6V/2A | ||
| 操作说明 | ||
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