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半导体晶片检测领域的专业检测设备推荐

发布时间:2025-05-20 点击量:134

一、超高亮度与精密缺陷检测能力

  1. 突破性照度水平
    YP-250I提供超过400,000 Lux的亮度,显著提升晶片表面微小缺陷(如划痕、颗粒、裂纹、抛光不均等)的对比度,即使是0.2 μm级别的微观缺陷也能清晰显现。这种高亮度支持光学显微镜和自动光学检测(AOI)系统快速捕捉细节,减少漏检风险。

  2. 冷光源与热管理技术

    • 冷镜技术:通过滤除90%以上的红外辐射,将热效应对晶片的影响降至传统铝镜的1/3,避免因热变形导致检测误差。

    • 强制排气冷却系统:采用螺旋式风扇或管道通风设计,确保长时间运行时照度波动低于2%,保障检测稳定性。

二、灵活适配复杂检测需求

  1. 多模式切换与光束调节

    • 两级照度模式:通过按钮快速切换高/低亮度观察模式,适应宏观整体扫描(如晶片表面均匀性评估)和微观结构分析(如光刻胶涂布细节)。

    • 光束直径可调:30-50 mm范围内灵活调整光束直径,适配不同尺寸晶片或局部重点检测需求。

  2. 兼容性与光源多样性

    • 支持黄光和白光两种光源,优化对不同材料(如硅片、砷化镓、碳化硅)的反光特性适应能力。

    • 可搭配显微镜、AOI设备、工业相机等多种检测工具,覆盖晶圆制造全流程(从CMP工艺到封装前终检)。

三、标准化与高效生产支持

  1. 检测环境一致性
    光源色温稳定在3400K,照度均匀性通过ISO认证,确保批次间检测结果的可比性,减少因光照波动引发的误判。

  2. 自动化产线适配性

    • 专为8英寸晶片设计(YP-150I适配6英寸),覆盖主流半导体制造规格,φ60 mm的照度范围满足大尺寸晶片高速扫描需求。

    • 支持高速AOI系统,缩短单次检测停留时间,提升产线效率30%-50%。

四、行业价值与风险控制

  • 缺陷拦截前移:在晶圆制造早期阶段(如光刻、抛光)精准识别缺陷,降低后期封装环节的废品率,半导体行业应用可减少30%以上返工成本。

  • 数字化升级支持:为AI视觉检测算法提供高信噪比图像,提升算法训练效率和识别准确率。

总结:YP-250I通过“极限亮度+精准热控制+多场景适配"的技术组合,成为半导体晶片检测的核心工具,尤其在高精度、高风险的先进制程中具备不可替代性。其设计兼顾效率与稳定性,为半导体制造良率提升和成本控制提供了可靠保障。