数字水平仪SELN-001B：半导体与机床领域的精密校准专家

SEM坂本数字水平仪SELN-001B作为行业内的测量与校准利器，正以其性能和无比优势，为半导体制造和机床检测企业带来未有的革新。

一、精准测量，奠定工艺基石

1. 半导体制造领域的精密应用

光刻机作为半导体制造的核心设备，对工作台和光路系统的水平精度要求近乎苛刻。SELN-001B凭借其高达±0.001deg的角度精度，能精确校准光刻机工作台，确保晶圆与光刻镜头的距离分毫不差，从而保障光刻图案精度。

在刻蚀工艺中，反应腔室与晶圆承载台的水平度直接关乎刻蚀效果。SELN-001B可快速探测反应腔室的倾斜角度，助力技术人员迅速调整至理想水平，实现刻蚀气体均匀分布，显著提高刻蚀均匀性和精度。

对于镀膜设备，真空腔室与蒸发源等部件的水平状态决定了镀膜质量。SELN-001B轻松应对真空腔室安装调平，大幅缩短安装时间，同时保障腔室水平度，使镀膜均匀性更上一层楼。

2. 机床导轨精度检测的强大助力

机床导轨是机床精度、机床刚性及机床耐久性的重要指标之一。SELN-001B在机床装配和维护过程中发挥着关键作用：

机床组装前，对组成部件进行检测，主要包括机床导轨的平行度、直线度、垂直度以及工作台的平面度等。 一个轴向运动包含七项精度：线性位移、垂直面的直线度、水平面的直线度、滚动角、俯仰角、偏摆角和对其他轴的垂直度。SELN-001B能够精准测量这些参数，为总装工作提供准确数据依据，帮助工程师进行误差修正，对导轨进行反复测量、铲刮、研磨或其他机加工。

二、产品创新设计与技术优势

SEM坂本数字水平仪SELN-001B是根据半导体制造设备水平调整要求而设计的工业水准仪，自1999年开始生产并持续至今，在行业中以其高性能获得了高度评价。

五大核心优势：

1. 超高精度测量：X、Y轴的角度精度高达±0.001deg（相当于17.5μm/m），满足最严苛的精密制造环境要求。

2. 狭窄空间适应能力：上下间隔狭窄部位的水平观测也能轻松完成，适应半导体设备内部复杂紧凑的结构。

3. 数字化测量判断：通过瞬时的数字测量判断，可以统一作业者的标准，减少人为误差。

4. 双轴同时调整：通过双轴同时调整功能，显著缩短了调整作业工时，提高工作效率。

5. 智能化操作体验：设置合格角度范围，即使是初学者，水平调整作业也很轻松简单。

主要技术规格：

三、实际应用案例与成效

在某半导体制造企业，引进新刻蚀机时，SELN-001B大显身手。快速校准反应腔室水平，使产品良品率从85%飙升至92%。调整晶圆承载台水平后，刻蚀不均匀问题得到有效解决，生产成本大幅降低。

另一家半导体工厂在镀膜设备维护与升级中，借助SELN-001B，将真空腔室安装时间从两天缩短至一天，镀膜均匀性显著改善。蒸发源升级改造后，利用该设备精确调整水平角度，镀膜均匀性偏差从±10%降至±5%以内。

专注先进制程芯片制造的企业，依靠SELN-001B定期检测光刻机工作台与光路系统，确保光刻图案套刻精度达到纳米级，为生产先进制程芯片提供坚实保障。

四、选择SEM坂本数字水平仪SELN-001B的理由

SEM坂本数字水平仪SELN-001B集精度、便捷性与可靠性于一身，是精密制造领域不可少的测量工具：

高精度保证：采用MEMS技术的超高性能传感器，确保测量结果准确可靠，为精密制造提供数据保障。

操作简便：可以一边看着显示器屏幕一边调整水平仪，就像看着气泡水平仪一样直观，大幅降低操作门槛。

高效节省：通过双轴同时调整功能，减少了调整工作所需的工时，提高了设备安装和维护效率，降低生产成本。

广泛应用：不仅适用于半导体制造设备，也广泛应用于机床和汽车相关行业，具有广泛的行业适应性。

技术传承：坂本电机拥有多年的精密设备制造经验，超精密加工技术是其技术的基础，保证了产品的品质。

SEM坂本数字水平仪SELN-001B以精准的测量、创新的设计和实际的应用效果，成为半导体设备制造和机床精度检测企业提升产品质量、提高生产效率、降低成本的选择。