
在半导体晶圆喷涂过程中,一滴不经意的多余液滴或涂层不均匀都可能导致价值数万元的芯片报废。这正是像ATOMAX这样的精密二流体雾化喷嘴成为高精度制造领域不可少工具的原因。
其AM6S-IST和AM12S-IST型号凭借超细雾化能力和稳定的性能,正在精密制造领域掀起一场技术革命。
ATOMAX AM6S-IST和AM12S-IST喷嘴采用外部混合涡流式二流体雾化技术,解决了传统喷嘴在精密制造中的多项瓶颈。
传统喷嘴在处理高粘度液体时往往面临堵塞风险,而ATOMAX通过直通式流道设计和超大注射直径,将堵塞可能性降至低。
其液体流道直径比传统喷嘴大10-200倍,即使是含有固体颗粒的浆料或高粘度液体也能稳定雾化。
这一创新结构使AM6S-IST和AM12S-IST能够产生平均粒径约5μm的超细液滴,且粒径分布极为均匀,为高精度涂层提供了基础保障。
在半导体领域,AM6和AM12系列喷嘴应用于晶圆制造的多道工序。
在晶圆预清洗环节,它们可将去离子水或弱碱性清洗液雾化成超细液滴,有效去除0.1μm以上的颗粒污染物,且不损伤晶圆表面。
测试表明,采用这些喷嘴的预清洗工艺可使晶圆表面颗粒污染物减少85%以上。
在光刻胶涂覆过程中,AM6S-IST和AM12S-IST通过精确控制光刻胶雾化,可在晶圆表面形成纳米级均匀度的薄膜,厚度偏差控制在±1%以内。
在医疗领域,这些喷嘴用于药品包衣、医疗器械表面处理和无菌环境消毒。
其超细雾化能力使药液能够均匀覆盖在药片表面,形成一致性高的包衣层,对于控制药物释放速率至关重要。
在汽车零部件和光学器件制造中,AM6S-IST和AM12S-IST实现了高性能表面涂层的精密喷涂。
无论是汽车零部件的高反射涂层还是光学镜片的防反射涂层,这些喷嘴都能提供均匀细腻的喷涂效果。
与传统喷嘴相比,AM6S-IST和AM12S-IST可减少15%-70%的压缩气体消耗。
其低压高效运行特性进一步降低了能耗,同时凭借自吸功能,在处理低粘度液体时甚至无需泵送设备。
对于使用高粘度液体或浆料的企业来说,喷嘴堵塞是常见的生产中断原因。ATOMAX喷嘴的直通式结构和超大孔径设计,解决了这一难题。
一家使用传统喷嘴的企业曾需要每8小时停机清洗一次,换用ATOMAX后,维护间隔延长至72小时。
为适应不同工作环境,AM6S-IST和AM12S-IST提供SUS316L不锈钢、PEEK和PTFE等多种材质选项。
在强腐蚀性的电镀液雾化环境中,可选择耐化学腐蚀的PTFE材质;而在需要高机械强度的场合,则可选用SUS316L不锈钢材质。
根据应用场景的不同,在AM6S-IST和AM12S-IST之间做出合适选择至关重要:
AM6S-IST更适合微量喷涂(低于1L/h)的场景,如实验室微量试剂喷涂、精密仪器防腐蚀等
AM12S-IST则适用于需要更宽喷雾覆盖但仍保持高精度的场合
对于高粘度/含固液体(如陶瓷浆料、3D打印材料),可优先考虑ATOMAX系列。
而在强腐蚀环境中(如电镀、酸洗),应选择特殊材质版本。
在空间受限的应用中,AM6S-IST的超紧凑设计(内径<10mm)显示出明显优势。
尽管AM6S-IST和AM12S-IST性能,但也存在一定的局限性:
价格较高,在预算敏感型项目中可能不如中国本土品牌有竞争力
在超大规模工业喷涂中,可选型号相对有限
对气体压力稳定性要求较高,供气波动可能导致粒径分布不均
特殊材质喷嘴(如PEEK/PTFE)的机械强度较低,在高磨损环境中寿命可能较短
针对这些局限,用户可在不需要超细雾化的常规应用中选择性价比更高的替代品牌,而在关键的高精度工序中保留ATOMAX喷嘴。
随着半导体技术不断向更小制程、更高集成度发展,以及医疗设备表面处理要求的不断提高,对精密雾化技术的需求将与日俱增。
AM6S-IST和AM12S-IST这类高精度雾化喷嘴,已成为高品质制造领域不可少的核心组件。