
在半导体和液晶面板制造等行业,表面缺陷检测是确保产品质量的关键环节。山田光学(YAMADA)的高亮度卤素光源装置YP-150ID/YP-150I,正是为此而设计的宏观观察设备。为了帮助您全面了解并正确选型,我为您准备了这份详细的选型指南。
山田光学的YP-150I系列高亮度卤素光源装置,专为检测半导体晶圆、液晶基板等产品表面的异物、划痕、抛光不均、雾度等细微缺陷而设计。其核心技术优势主要体现在以下几个方面:
超高照度与均匀照明:YP-150I能在样品表面提供超过400,000 Lux的照度。它采用卤素灯作为光源,具有高色温和低照明不均匀性的特点,能提供稳定且锐利的照明效果,便于识别最细微的缺陷。
先进的冷镜技术:设备使用了冷反射镜,能将热能影响降至传统铝镜的约三分之一。这对于检测热敏感材料至关重要,能有效避免样品因过热而损伤。
灵活的操作模式:具备高/低两档照度一键切换功能。您无需调整检测距离,即可根据不同的缺陷类型和观察需求,快速选择最合适的照明强度。
为了方便您比对,以下是YP-150I及其同系列型号YP-250I的核心参数表格。
| 参数项目 | YP-150I | YP-250I | 
|---|---|---|
| 照射范围 | φ30 mm | φ60 mm | 
| 照射距离 | 140 mm | 220 mm | 
| 核心照度 | ≥ 400,000 Lx | ≥ 400,000 Lx | 
| 所用灯具 | JCR15V150W | ELC24V250W | 
| 灯具寿命 | 约50小时 | 约35小时 | 
| 电源与功耗 | AC100V, 50/60Hz, 约200W | AC100V (可对应200V), 约350W | 
| 冷却方式 | 强制风冷 | 强制风冷(可选风扇类型) | 
了解技术细节后,如何将其与您的实际需求匹配是关键。
小型、高精度检测:其φ30mm的照射范围非常适合集中检查小尺寸半导体晶圆(如8英寸及以下)的关键区域,或液晶基板上的微型电路。
对操作空间有要求的场景:相对更小的体积和重量,使其在紧凑的工作环境中也能灵活安装和使用。
预算敏感型项目:灯具和整体功耗相对更低,有助于控制长期的运营成。
大面积、高效率检测:φ60mm的照射范围能够覆盖更大尺寸的基板(如8英寸晶圆),单次观察面积更大,有助于提升检测效率。
产线连续作业:虽然功耗更高,但更强的冷却系统(可选管道风扇或螺旋桨风扇)有助于在长时间高负荷运行中维持设备稳定性。
明确检测对象与精度要求
检什么? 是半导体晶圆还是液晶玻璃基板?具体的材料类型和对热量的敏感度如何?
查多细? 需要检测的缺陷最小尺寸是多少?这直接关系到对400,000 Lux照度和光照均匀性的依赖程度。
评估检测效率与覆盖范围
您的产线节拍要求是怎样的?如果追求单次大面积扫描,YP-250I的φ60mm照射范围会更高效。如果只是针对特定区域进行精细排查,YP-150I则更专注。
考量工作环境与成本
安装空间:核对一下设备尺寸,确保您的检测台有足够空间安装和操作。
总拥有成本:除了设备售价,还需考虑耗材成本。卤素灯为消耗品,YP-150I的灯具寿命约50小时,YP-250I约35小时,需定期更换。此外,电力消耗也是一个长期因素。
关注灯具寿命:卤素灯亮度会随使用时间衰减,建议定期更换以保证最佳检测效果。记录使用时间很重要。
善用照度切换:灵活使用高、低两档照度切换功能。高照度用于寻找极细微瑕疵,低照度有时能更清楚地观察某些特定类型的划痕或雾度。
确保良好散热:尽管采用了冷镜技术,保证设备周围通风良好、定期清理风扇滤网,对于维持设备性能和使用寿命至关重要。
选择山田光学的强光灯,本质上是为您的检测工艺匹配最合适的“眼睛"。
若您主要从事小尺寸、高精度的缺陷检测,且对运营成本和空间较为敏感,YP-150I是性价比高的选择。
若您的产线处理较大尺寸的基板,并追求更高的检测效率,那么YP-250I更能满足您的需求。