设备外观与连接检查：首先检查传感器（Φ50×19mm）、监视器（96×35×145mm）外观无划痕、破损，重点查看传感器测量面是否清洁无杂质。随后检查2米长连接电缆是否有破损、断线，连接传感器与监视器时确保接口插紧，无松动或接触不良情况。
环境温度适配：仪器内置温度补偿功能，但温差过大仍可能影响初始精度。若测量环境与设备存放环境温差超过5℃，需将传感器和监视器一同置于测量环境中稳定15-20分钟；若用于半导体车间、计量实验室等高精度场景，建议开机后预热10分钟再进行测量。
场地清理：被测表面需清理干净，去除铁屑、油污、灰尘等杂质，避免因接触面不平整导致测量偏差。对于狭窄空间（如半导体设备内部），需提前清理周边障碍物，确保传感器能平稳放置且不被磕碰。
电源选择与连接：仪器支持两种供电方式，长期固定场景建议使用专用AC适配器（DC6V/2A），将适配器插头插入监视器电源接口，另一端接入220V交流电源；移动测量场景可装入4节AA电池，打开监视器电池仓盖，按正负极标识安装电池，确保供电稳定。
辅助配件准备：根据场景需求准备辅助工具，如狭窄空间测量时可搭配专用延长支架；强光环境下需准备屏幕遮光罩；数据记录场景需提前连接数据传输线（适配仪器数据输出接口）至电脑或数据采集设备。
开机启动：按下监视器侧面的电源键，仪器启动后会进行自检，屏幕显示“SEM SELN-001B"标识及传感器连接状态，若显示“传感器连接正常"则进入主界面，若提示“连接失败"需重新插拔电缆并检查接口。
单位与模式设置：在主界面点击“设置"图标，进入参数设置界面。测量单位支持μm/m（微米/米）与角度单位（°、°′″）切换，半导体、机床场景常用μm/m单位（17.5μ/m≈0.001deg），建筑监测场景可选择角度单位；测量模式默认“实时测量"，如需连续监测可切换至“连续记录"模式，设置记录间隔（1-60秒可选）。
合格范围设定：点击“阈值设置"，根据场景精度要求输入X轴、Y轴的合格角度范围（如半导体光刻机校准通常设为±0.001deg），设置完成后屏幕会显示“合格区"绿色标识，超出范围时数据会显示为红色，便于快速判断。
传感器放置：根据被测对象选择放置位置，平面测量时将传感器测量面平稳贴合被测表面，确保无晃动；狭窄空间（如半导体设备反应腔室）可借助传感器小巧轻便（70克）的优势，伸入缝隙中放置，监视器置于外部便于观察的位置。
实时测量与调整：主界面会同步显示X轴（水平方向）、Y轴（垂直方向）的实时倾斜数据，数据更新速度≤50毫秒，可瞬间反馈倾斜变化。调整时需同时观察两轴数据，通过调节被测对象的支撑脚或调整机构，使数据落入设定的合格范围，相比传统单轴水平仪，双轴同步显示可缩短50%以上的调整时间。
零点校准：若需以当前位置为基准零点，点击主界面“零点设置"图标，屏幕显示“零点已校准"，此时数据会以当前位置为基准显示偏差值，适用于相对倾斜测量场景（如机床导轨平行度检测）。
实时记录：在测量界面点击“记录"图标，仪器会自动记录当前X轴、Y轴数据及测量时间，连续记录模式下会按设定间隔自动保存数据，最多可存储1000条测量记录。
数据导出：将数据传输线连接监视器的USB接口与电脑，在主界面点击“导出"，选择“USB导出"，数据会以Excel格式保存至电脑，便于后续分析（如建筑监测的倾斜度-时间曲线绘制）。
光刻机工作台校准：将传感器通过专用磁性底座固定在工作台中心，确保与工作台面紧密贴合；进入参数设置界面，将测量分辨率调至0.0002deg，合格范围设为±0.001deg；调整工作台的三个支撑脚，观察屏幕数据，直至X、Y轴数据稳定在合格范围内，同时记录调整前后的数据对比，确保焦平面偏移量≤0.001deg。
刻蚀机反应腔室校准：由于反应腔室内部空间狭窄，需将传感器拆卸磁性底座后直接放入腔室晶圆承载台，通过2米电缆连接外部监视器；开启温度补偿功能（默认开启），避免腔室温度变化导致零位漂移；调整承载台的升降机构，确保等离子体分布均匀，校准完成后需多次测量不同位置（如腔室中心与边缘），确保整体水平度偏差≤0.002deg。
导轨平行度测量：在导轨的两端和中间三个位置标记测量点，将传感器放置在第一个测量点，点击“零点设置"；沿导轨依次移动传感器至其他测量点，记录各点的X轴偏差值，若偏差超过±0.001deg，需调整导轨的固定螺栓，直至各点偏差值≤0.001deg，确保导轨平行度符合要求。
工作台平面度校准：将工作台分为9个均匀分布的测量点，逐个点测量X、Y轴数据，绘制平面度误差图；针对数据超标的点位，调整工作台底部的支撑螺栓，双轴同步调整时需缓慢操作，避免单次调整幅度过大导致数据波动，调整后再次测量各点，确保平面度误差小于等于0.003deg。
高层建筑倾斜监测：将传感器通过膨胀螺栓固定在建筑顶层的承重柱上，确保安装牢固无震动；设置测量单位为角度单位（°），合格范围设为±0.01deg，连续记录间隔设为30秒；通过数据导出功能将每日数据整理为倾斜度-时间曲线，若发现曲线呈线性上升趋势，需及时预警结构沉降风险。
桥梁支座水平度检测：在桥梁的每个支座位置放置传感器，同时启动多台仪器（支持同步测量），记录各支座的X、Y轴数据；对比不同支座的数据偏差，若偏差超过±0.02deg，需调整支座的垫片厚度，确保桥梁受力均匀，避免局部应力过大导致结构损坏。
清洁保养：每月用无水乙醇擦拭传感器测量面和电缆接口，清除油污和杂质；每季度检查电池触点，若有氧化痕迹用细砂纸轻轻打磨，确保接触良好。
部件检查：每6个月检查电缆是否有老化、破损，传感器测量面是否有划痕；每年将仪器送至原厂或授权机构进行全面检测，更换老化部件（如电池仓弹簧、电缆接口）。
存储维护：长期不使用时，需取出电池，将仪器放入干燥、通风的收纳盒，避免阳光直射和潮湿环境（存储湿度≤60%，温度0-40℃）。
常见故障 | 可能原因 | 解决方法 |
|---|---|---|
屏幕数据跳动频繁 | 传感器放置不平稳、电磁干扰、供电不稳定 | 重新放置传感器并固定；远离大功率电磁设备；更换为AC适配器供电 |
测量数据偏差过大 | 被测表面不清洁、未进行温度稳定、仪器未校准 | 清理被测表面；延长环境稳定时间；执行日常校准流程 |
传感器连接失败 | 电缆接触不良、电缆破损、传感器故障 | 重新插拔电缆；检查电缆是否破损，更换备用电缆；联系售后检测传感器 |
电池续航短 | 电池老化、连续记录模式耗电过快 | 更换新AA电池；长期使用时切换为AC适配器供电 |
