在半导体制造的光刻区，环境露点需被严格控制在 -40°C 以下，EUV 极紫外光刻区域的要求更是严苛至 -90°C；而锂离子电池的制造过程中，水分被视作“大敌"，混入可能导致品质下降甚至引发火灾；在电力行业，GIS 设备中 SF6 气体的微量水分监测则是绝缘安全的重要保障。
工业制造对环境的追求已达原子级别。半导体生产中，哪怕只是几个水分子在晶圆表面凝结，就足以导致显影图形膨化、金属线路腐蚀，造成整批产品报废。
在锂电行业，情况同样严峻。锂离子对水分极为敏感，微量水分的混入不仅会大幅降低电池性能和寿命，更可能引发电解液分解等危险化学反应。
电力行业则面临不同的挑战。高压开关设备中的 SF6 绝缘气体，其水分含量必须被严格监控，因为过高的湿度会降低绝缘强度，并在电弧作用下生成腐蚀性物质，威胁设备安全。
为了应对不同工业场景的多样化需求，Tekhne 基于其核心的静电容量式（电容式）传感技术，开发了完整的产品矩阵。下表清晰展示了各主要型号的定位与差异：
| 型号系列 | 测量范围 (露点) | 精度 | 核心特点 | 典型应用场景 |
|---|---|---|---|---|
| TK-100 (在线式) | -100°C 至 +20°C | ±2°C | 宽量程、快响应、高稳定性，支持4-20mA/RS485输出 | 半导体洁净室、工艺气体纯化、手套箱 |
| TK-100 (便携式，如YN型) | -100°C 至 +20°C | ±2°C | 轻巧(约2kg)、电池供电、即插即测 | 现场点检、压缩空气管路抽查、设备维护 |
| TK-100TR-EX (防爆型) | -100°C 至 +20°C | ±2°C | 防爆认证，可在Zone 0危险区使用 | 石油化工、天然气、可燃性气体环境 |
| TE-660 | 典型 -60°C 至 +20°C | 聚合物传感器，±2°C | 自动校准、长期稳定性好、耐溶剂 | 压缩空气、塑料干燥、锂电涂布环境 |
| EE33 | 温湿度测量 | 温湿度传感器 | 适用于高湿度和恶劣环境 | 环境温湿度监控、特殊气体环境 |
静电容量式原理是这些产品的共同核心：传感器表面的介电材料会吸附气体中的水分子，导致电容量发生变化，通过精密测量这一变化即可计算出精确的露点温度。这一原理赋予了它们响应快、稳定性好、维护简单的优势。
在半导体工厂，Tekhne露点计构建了一张无形的监测网络。它们被精确部署在三个关键环节：洁净室环境、工艺气体管路以及封闭工艺设备内部。
光刻区的故事最惊心动魄。当晶圆完成显影，表面残留的溶剂挥发时会急剧吸热，可能导致晶圆局部温度瞬间低于空气露点。此时，空气中无形的水汽会在价值连城的晶圆图形上凝结，造成线条膨化、桥连，直接导致图形失真报废。
Tekhne TK-100 在这里扮演了“风险先知"的角色。它实时监测送风露点，并将数据传送至厂务控制系统。系统会动态计算“晶圆表面温度"与“环境露点"的安全裕度。一旦裕度不足，系统能自动调节空调箱的除湿能力，在数分钟内将威胁消除。
在薄膜沉积区，露点要求同样严苛，需要低于 -40°C。TK-100 直接测量露点的特性，避免了传统相对湿度传感器因温度波动而产生的“假低湿"误判，为工艺稳定性提供了真实可靠的数据基准。
“水分是锂离子电池和全固态电池制造过程中的大敌。" 这一断言直指核心。在电池生产的干燥室和手套箱内，环境露点需被长期稳定地控制在极低水平（如 -60°C 以下），以防止正负极材料、电解质与水分发生副反应。
这不仅关乎品质，更直接关系到安全。某些电池材料遇水可能产生剧烈反应，存在火灾甚至爆炸的风险。因此，持续、可靠的露点监测不是辅助手段，而是必1备的安全生产线。
Tekhne 为这一领域提供了组合方案。TK-100 常用于监测手套箱、干燥房的主体环境；而 TE-660 聚合物露点计因其对涂布工序中常见的溶剂气氛有更好的耐受性，被部署在电极涂布干燥等特定环节。对于燃料电池的研发与生产，则需要精确控制氢燃料的加湿量，此时 EE33 等温湿度计便能发挥作用。
电力与能源行业，尤其是涉及天然气、氢能或化工的领域，监测环境往往伴随着易燃易爆气体的风险。在这里，监测设备本身的安全性成为首要考量。
TK-100TR-EX 防爆露点变送器正是为此而生。它获得了严格的防爆认证，通过与隔离栅配合，可构成完整的本质安全防爆系统，适用于高级别的 Zone 0 危险区域。这意味着，即使在天然气管道或储氢设施旁，它也能安全可靠地连续工作。
它的核心任务，是监测各类烃类气体、氢气、氮气以及仪表空气中的水分含量。在天然气输送中，水分会与某些成分结合形成水合物，堵塞管道；在储氢场景中，过高的湿度可能影响燃料电池性能或材料的氢脆现象。TK-100TR-EX 就像忠于职守的哨兵，默默守护着这些危险区域的生产安全。
面对多样化的产品线，精准选型是关键。您可以从以下几个维度进行决策：
首要确认安全要求：若测量环境存在可燃性气体，必须选择 TK-100TR-EX 等具备相应防爆认证的型号。
明确测量目的：是长期在线监控（选择在线式变送器，接入控制系统），还是现场抽查与维护（选择便携式）？半导体与锂电的产线核心环节通常需要在线式。
考量气体与环境：测量普通压缩空气、仪表空气，TE-660 是性价比较高的选择；若涉及溶剂气氛（如锂电涂布），TE-660 的耐溶剂性更具优势；若测量高纯度或腐蚀性工艺气体，则需关注 TK-100 的特殊镀膜抗腐蚀型号。
评估响应与集成需求：对于需要快速响应、参与自动控制的环节（如半导体洁净室），TK-100 的快速响应和标准工业信号输出（4-20mA， RS485）是理想选择。
随着工业技术向更精密、更高效、更安全的方向演进，对环境变量的控制只会越来越严苛。在半导体工厂，TK-100 监测网络正将湿度数据变成预测性维护的关键参数；在电池千级干燥房里，露点计的读数每下降一度，都可能意味着产品合格率的一个百分点提升；在电网的GIS设备室，防爆露点计的一次精准报警，或许就避免了一次重大停电事故。
