在显示面板的生产线上,一块即将完工的屏幕被送入检测区。当特定波长的紫外光均匀照射其上,肉眼难以察觉的微观缺陷、膜层均匀性或液晶取向状态,会通过精密的光学响应显现出来。
同样,在半导体晶圆的复杂电路中,深紫外光成为“鹰眼",帮助识别出微米甚至纳米级别的图案缺陷、测量关键尺寸。这一切对光源的波长精准性、强度稳定性和光谱纯度提出了要求。
现代显示与半导体制造正迈向更精密、更高效的阶段,这使检测环节面临严峻挑战。宏观上行业的技术迭代与微观上工艺精度的演进,共同将光源的性能推向了关键位置。
在显示领域,随着OLED、Mini/Micro LED及超高分辨率屏幕的普及,检测对象从过去的单纯像素点,扩展到更为复杂的发光材料、精细膜层和微观结构。
缺陷尺寸从微米级向亚微米级发展,传统的宽谱或非特定波长光源已难以提供足够的对比度和信噪比,伪影干扰、缺陷漏检风险显著增加。
半导体行业则沿着摩尔定律继续前行。当工艺节点进入7纳米、5纳米甚至更小时,光刻后检测、关键尺寸测量和缺陷复查对光的波长提出了近乎苛刻的要求。尤其是248nm深紫外光,已成为多项核心检测工艺的“标尺"。
低强度或不稳定的光源会直接导致测量数据波动,使工艺窗口判断失准,造成巨大的时间和物料损失。
面对上述挑战,朝日分光REX-250水银光源的设计理念,便是成为高置信度检测的“基石"。其核心优势并非简单的“高亮度",而是系统性构建的可控光环境。
核心波长优势显著:该光源特别强化了 248nm波段的输出强度。在半导体检测中,此波长与许多光刻工艺及材料的光学特性高度匹配,是进行图案轮廓测量和缺陷识别的黄金波段。
同时,它也提供313nm、334nm、365nm、405nm、436nm等汞灯特征谱线,完整覆盖了从深紫外到可见光蓝紫端的常见检测需求。
波长选择精准高效:其核心在于可搭载多达8个独立滤光片的快速切换系统。检测工程师可以像转换镜头一样,在预设的多个特征波长间瞬时切换。
例如,检测显示屏不同功能层时,可一键切换至适合激发其特定荧光或反射特性的波长,实现“一层一光",大幅提升缺陷辨识的针对性和效率。
光强与曝光控制精密:设备支持100%至5%的连续光强调节和高达99999.9秒的精确定时曝光。这意味着无论是需要对微弱信号进行长时间累积曝光的精密测量。
还是生产线上的高速瞬态检测,REX-250都能提供稳定、可重复的照明条件,确保每一次检测都在同一“光标准"下进行,数据可比性强。
在具体的应用场景中,这些技术优势转化为实实在在的检测效能提升。
在显示面板检测中,REX-250的精准波长可用于评估OLED有机发光材料的纯度与均匀性,检测微型LED芯片的焊接缺陷,或量化液晶盒的取向排列质量。
其稳定的光输出确保了批次间检测结果的一致性,为工艺改进提供了可靠数据。
在半导体制造领域,除了前述的光刻检测,它还可用于光掩模版的缺陷复查、硅片表面污染物的荧光检测,以及各类薄膜厚度的光谱反射测量。
特别是其RS-232C外部控制接口,使其能够无缝集成到自动化检测设备或智能产线中,实现光源开关、波长切换、光强调节的全程程序化控制,满足工业4.0时代的柔性生产和数据追溯需求。
对于研发与品控实验室,REX-250更像是一个“基础光学平台"。其稳定性为建立企业内部的光学检测标准方法提供了可能,无论是新材料的光学特性表征。
还是对标国际检测规范,它都能提供值得信赖的光源保障。
REX-250作为一款工业与科研级设备,其设计充分考虑了连续、稳定运行的严苛要求。
它采用超高压汞灯,虽然灯泡寿命约为1000小时(至初始照度的70%),但其采用了特殊的“免对准墨盒式"更换设计。维护人员无需复杂的光路调整,即可快速完成灯泡更换,大程度减少设备停机时间。
从成本效益看,相对于激光光源等替代方案,REX-250在提供关键波长高强度输出的同时,保持了合理的购置与维护成本,是一种经受了市场验证的高性价比工业解决方案。
它实现了高1端性能与实用可靠性的平衡,是注重长期稳定生产和数据可靠性的企业的理性选择。