
在半导体晶圆与液晶基板的精密制造中,最终抛光面的质量直接决定产品良率。然而,划痕、研磨不均、雾度、滑移等微米级缺陷常因照明不足而被遗漏。山田光学(YAMADA-OPT)推出的YP系列高亮度光源装置,以超越日光4倍的照度、极1致稳定的光输出和灵活的光源选择,为精密表面检测树立了新的标1杆。
YP系列所有型号均可在样品表面实现400,000Lx以上的超高照度,这一数值相当于太阳光强度的4倍以上。在这种照明条件下,常规检测中极易忽略的0.2μm级划痕、CMP残留、抛光不均等微观瑕疵得以清晰呈现。尤其对于晶圆、ITO镀层等高反射材料,高角度照明确保了光斑均匀、边界锐利,显著提升了缺陷识别的准确率。
标题中“稳定输出,精准把控"的技术内涵,体现在YP系列对光品质的严苛管控上。其电源单元采用直流点灯方式,配合电压或电流调节式光量调整,将综合变动率控制在1%MAX以内——这意味着无论是输入电压波动、环境温度变化还是设备长时间运行产生的漂移,输出照度始终保持高度一致。对于需要长时间连续运行的自动化检测产线,这种稳定性是避免误判、确保检测结果可重复性的核心保障。
YP系列同时提供卤素与LED两种技术路线,满足不同场景需求:
卤素光源(YP-150I / YP-250I)
光学优势:色温3400K,显色指数接近Ra>95,光谱连续接近日光,真实还原表面纹理与色彩,避免LED蓝光偏色导致的缺陷误判。
关键型号:YP-150I(照射径30mmφ,距离140mm,配150W牛尾灯泡);YP-250I(照射径40mmφ,距离220mm,配250W欧司朗灯泡)。
适用场景:对光谱连续性要求高的研发分析、抽检,或已有卤素系统配套的产线。
维护注意:卤素灯泡寿命约30-50小时,需定期更换。
LED光源(YP-250IL)
革新优势:保持与YP-250I同等光学性能(40mmφ光斑,≥400,000Lx照度),但LED寿命长达10,000小时,是卤素灯泡的数百倍。这意味着设备生命周期内几乎无需更换光源,大幅降低维护成本与停机时间。
精准调控:配套LPS-250电源采用电流调节式光量调整,光强调控比电压调节式更为线性、平滑。
适用场景:需要长时间连续运行、追求零维护与高稳定性的自动化生产线终检。
高照度往往伴随高热辐射,对硅片、OLED面板等热敏感材料构成风险。YP系列配备了冷镜(二向色镜)镀膜技术,可有效反射可见光并透射红外热辐射,将热影响降至传统铝镜的1/3,样品表面温升控制在2℃以内。这一设计保障了检测过程的安全性与准确性,尤其适用于对热变形敏感的精密元件检查。
尺寸紧凑:YP-150I主机尺寸约102×351×128mm,重量2.65kg;YP-250IL优化至107×229×114mm,节省机台空间。
冷却方式:强制风扇空冷设计,适应0~40℃环境温度。
全球通用:电源支持AC100~240V 50/60Hz宽幅输入,适配不同地区电网。
山田光学YP系列以超高照度、极1致稳定、灵活选择为核心,精准回应了半导体与显示面板行业对宏观缺陷检测的严苛要求。无论是追求传统光学优势的卤素型号,还是拥抱免维护未来的LED型号,YP系列都提供了一套从“看清"到“看准"的完整照明方案。在0.2μm级的缺陷世界里,稳定的光,就是良率的第一道防线。