在半导体晶圆的光刻工艺中，介电薄膜的厚度均匀性直接决定了器件性能；在车载激光雷达的反射镜上，近红外波段的反射率分布关乎探测距离与精度。这些场景的共同特征是：测量区域微小、样品表面非平坦、工作波段在红外。
传统反射率测量设备面对这类需求时，往往陷入两难。光斑过大，测的是“平均值"而非“目标点"；曲面样品因焦点偏移导致数据失真；红外波段缺乏足够灵敏的探测器，信噪比不足。更棘手的是，许多样品（如晶圆、超薄透镜）背面会产生反射干扰，迫使操作者进行遮光处理——这在半导体洁净室或精密光学产线上，几乎不可接受。
涩谷光学 MSP-100IR 的设计逻辑，正是围绕这些“不可接受"展开的。
“微小区域"在先进制造中有着具体的量级。半导体晶圆上的局部缺陷可能仅数十微米，手机镜头镀膜的颗粒检测需要 μm 级分辨率，AR/VR 自由曲面透镜的边缘镀膜衰减区域同样狭窄。
MSP-100IR 使用 10× 物镜时，可在样品表面聚焦出 φ50μm 的光斑。这意味着探测光束只覆盖目标区域，不会将周围“无关"的反射信号平均进来。对于晶圆表面介电薄膜（如 SiO₂）的局部反射率异常分析，或红外光学元件上微小镀膜瑕疵的定位，这一光斑尺寸提供了必要的前提条件。
配合 512 元线性 PDA 传感器与 16 位 A/D 转换器，系统在微小光斑下仍能保持信噪比。低反射率样品（如某些红外增透膜）的测量不再因信号微弱而被迫延长采样时间或牺牲重复性。
曲面测量是反射率检测中的经典难题。当探测光入射到非平面样品表面时，曲率导致焦点偏移，反射光的方向与强度分布随之改变。传统设备要么只支持平面，要么在曲面上给出系统性偏差的数据。
MSP-100IR 的曲面适应范围为 -1R 至 +∞。这一范围覆盖了从凹面镜到凸面镜、直至平面的几乎全部常见光学曲面类型。对于车载激光雷达中常见的 ±1.5R 反射镜、鱼眼镜头（曲率半径约 2R）等，系统能够自动校准焦点，避免因曲率导致的测量误差。
这一能力在红外波段尤为关键。红外光学元件的材料（如硅、锗、硫系玻璃）往往具有与可见光不同的折射特性，曲面上的反射率分布对入射角更加敏感。MSP-100IR 的 InGaAs 传感器对 900–1700nm 波段具有高灵敏度，配合曲面兼容的光学设计，使其成为红外透镜、反射镜镀膜均匀性检测的实用工具。
红外波段测量面临一个特殊困境：许多红外透明材料（如硅、锗）在近红外区域具有较高的透射率，探测光极易穿透样品到达背面。如果样品背面与空气存在折射率差异，背反射光将混入信号，造成反射率测量值失真。
传统解决方案——磨砂、涂黑、贴胶带——在半导体和精密光学场景中几乎不可行。晶圆表面不允许任何污染，透镜的背面形貌可能影响后续装配，超薄红外窗口根本经不起机械处理。
MSP-100IR 采用涩谷光学的半透镜技术，从光路设计层面切割后表面反射光。背反射光在到达探测器之前被光学系统拦截，而样品前表面的有效反射信号完整保留。这意味着无需任何背面处理即可获得准确的反射率数据，配合 20× 物镜时，可测量厚度低至 0.2mm 的超薄样品。
对于半导体晶圆上生长在硅基底上的介电薄膜，或超薄红外滤光片，这一特性将测量流程从“制样—测量—清理"简化为“直接测量"。
半导体晶圆与介电薄膜检测
晶圆表面的 SiO₂、TiO₂ 等介电薄膜的厚度与折射率影响光刻精度和器件电学性能。MSP-100IR 可非接触测量红外波段的反射特性，通过反射光谱分析薄膜的均匀性与界面质量。φ50μm 光斑允许对晶圆局部区域进行点扫描，绘制反射率分布图，定位膜厚异常区域。
红外光学元件的镀膜质检
红外透镜、窗口片和滤光片在 900–1700nm 波段的反射率是核心性能指标。MSP-100IR 的曲面兼容能力使其可直接测量透镜曲面上的镀膜反射率，评估镀膜均匀性和不规则性。对于高反射率镜片（如 DLP 投影仪中的微镜阵列），系统能够精准测量红外波段反射特性，控制反射率分布。
OLED 基板与显示面板的红外表征
OLED 基板的反射率影响屏幕对比度。MSP-100IR 可检测红外波段的反射特性，为面板设计优化提供数据。红外反射谱中特征吸收峰的变化，还可以作为封装层水氧阻隔性能的评估依据。
MSP-100IR 的专精波段是 900–1700nm。如果研究重点在可见光区域，需要选择 MSP-100B（350–1100nm）；紫外波段应用则应考虑 MSP-100UV（230–800nm）。
在精度方面，系统在 451–950nm 波段的测量再现性为 ±0.02%，在 951–1050nm 波段为 ±0.2%，显示分辨率为 1nm。对于研发阶段的相对比较和工艺反馈，这一精度充裕；对于需要高精度绝对反射率定标的场景，可能需要与更高精度的分光光度计交叉验证。
此外，该系统测量的是反射率，而非透过率。对于需要完整光学常数（n、k）提取的应用，通常需要结合透过率数据或椭偏测量。
MSP-100IR 解决“红外波段微小区域测量难题"的方式，不是单一技术的突破，而是多个工程决策的协同：微小光斑锁定了空间分辨率，曲面兼容扩展了样品形态的边界，半透镜技术消除了背光干扰，InGaAs 传感器保障了红外波段的信噪比。
这些特性叠加的结果是：一台能够在半导体洁净室、光学产线和材料实验室中，对晶圆、曲面透镜和红外光学元件进行非接触、免前处理、高空间分辨率反射率测量的工具。对于需要同时应对“微小、曲面、红外"三重约束的应用场景，MSP-100IR 提供了一条系统性的解决路径。
