
在陶瓷芯片(MLCC 多层陶瓷电容、氮化铝 / 氧化铝陶瓷基板、陶瓷封装载体、压电陶瓷芯片)材料开发流程中,粉体团聚、浆料杂质、分散不均是造成烧结气孔、翘曲、分层、介电性能劣化的核心诱因。传统球磨容易引入磨球磨损杂质,高速分散设备易造成粉体晶粒过度破碎、浆料温升过高,难以满足高纯电子陶瓷小试阶段的严苛要求。日本石川 ISHIKAWA D101S 与 D16S 自动擂溃机,依托 OR 式行星擂溃结构,以无介质揉搓剪切原理,实现粉体解团聚与浆料均质,分别承担微量新配方探索与配方定型、工艺放大验证两大阶段任务,是陶瓷芯片实验室研发阶段的关键制备设备。
石川擂溃机属于自动研钵设备,采用钵体固定、乳棒行星双重回转结构,乳棒依靠弹簧实现恒定压力挤压、揉搓、剪切物料,全程不使用氧化锆、氧化铝磨球等研磨介质,从根源减少外源杂质引入。
低污染粉体处理:可选配 99.99% 高纯氧化铝钵体,铁、钠等重金属杂质控制在极低水平,避免杂质造成陶瓷芯片漏电流增大、绝缘性能下降,适配车规 MLCC、功率器件陶瓷基板等高可靠电子陶瓷研发场景。
温和低损伤分散:依靠低速揉搓打散粉体软团聚,不会破坏陶瓷原生颗粒形貌,可稳定维持粉体原始粒径分布,保障陶瓷生坯烧结收缩率一致性。
工艺可复现:转速、处理时间数字化设定,压力恒定可控,解决传统手工研钵操作差异大、数据不可重复的痛点,小试工艺参数具备参考迁移价值。
易清洁,低交叉污染:钵体、乳棒组件可快速拆装拆解清洗,更换不同体系陶瓷粉体时,能有效降低物料交叉污染风险;可搭配真空盖,实现擂溃同步脱泡,消除浆料内部气泡,减少生坯针孔缺陷。
D101S 为 200mL 台式紧凑型擂溃机,最小可处理 10~20mL 微量试样,整机小巧,占用实验台面少,功率 60W,适合珍贵高纯陶瓷粉体的前期配方筛选。
钵体内径 115mm,深度 67mm,单根 T 型乳棒,8~50rpm 变频调速,支持数字定时;整机重量约 15kg,单相 100~120V 供电。
优势:试样用量少,大幅节约钛酸钡、氮化铝等高价值电子陶瓷原料,适合多组平行对照试验。
局限:腔体容量小,高粘度浆料负载上限偏低,长时间混炼工况下温升相对明显,无标配侧壁刮料棒,超高粘度物料易挂壁。
全新配方前期开发:针对新型 MLCC 介质粉体、AlN 导热基板原料,快速开展分散剂、粘结剂配比试验,以微量试样验证配方可行性。
高纯粉体预处理解团聚:打散超细电子陶瓷粉体软团聚,稳定粉体 D50 粒径,规避团聚颗粒导致的流延片密度不均,预防烧结翘曲、击穿缺陷。
缺陷机理对照实验:少量制备对比浆料,排查浆料不均、气泡等因素引发陶瓷芯片介电击穿、绝缘不良问题,用于材料失效分析。
薄层 MLCC 介质浆料小试:薄层 MLCC 介质浆料对分散均匀度高度敏感,D101S 可快速评估不同助剂对浆料流变性能的影响。
D16S 额定处理容积 400mL,功率提升至 90W,钵体内径 155mm、深度 85mm,整机约 22kg,负载能力更强,专为配方定型、中小批量试样制备设计,承接 D101S 筛选完成后的配方验证工作。
同样搭载 T 型乳棒、8~50rpm 变频与数字定时,支持选配高纯氧化铝钵、真空脱气组件。
优势:腔体更大,混炼捏合能力更强,可稳定处理中高粘度陶瓷膏料、高固含量流延浆料,批次物料充足,方便多维度检测取样,评估浆料沉降、流变稳定性。
局限:原料消耗高于 D101S,不适合早期多组微量配方快速筛选。
配方定型验证:将 D101S 筛选出的潜力配方放大至 400mL 批次,验证放大效应,排查小试阶段不易暴露的浆料稳定性问题。
高粘度厚膜浆料制备:适配陶瓷封装芯片厚膜导体浆料、高固含量氮化铝基板流延浆料,完成均质混炼。
真空脱泡工艺开发:搭配真空盖,在擂溃混炼阶段脱除浆料包裹气泡,降低生坯内部气孔,提升陶瓷基板导热性能与绝缘强度。
中试前置工艺验证:D16S 获得的工艺参数,可作为更大规格 D18S 中试擂溃机的基准参考,实现实验室小试到中试产线的工艺衔接。
表格
| 项目 | D101S(微量研发) | D16S(配方定型) |
|---|---|---|
| 核心定位 | 新配方探索、原料筛选、机理研究 | 配方优化定型、中小批量打样、工艺放大前置 |
| 处理容量 | 200mL,低 10~20mL | 400mL 中小批次试样 |
| 适配浆料 | 低至中粘度超细电子陶瓷浆料 | 中高粘度、高固含量陶瓷生坯浆料、厚膜浆料 |
| 适用工序 | 配方初筛、粉体预处理、缺陷对照试验 | 配方放大验证、脱泡工艺开发、多指标检测取样 |
两款设备均属于实验室小试设备,不可直接用于陶瓷芯片量产产线;标配无侧壁特氟龙刮料棒,长时间处理超高粘度浆料存在物料挂壁现象,超高粘度、难分散纳米粉体长期处理可升级至双杵带刮料棒的 D18S 机型。设备仅用于粉体与浆料分散捏合,不具备粗碎功能,大块烧结陶瓷需提前预粉碎后投入。
陶瓷芯片材料研发是一个由微量试配逐步走向配方固化、工艺放大的递进过程。石川 D101S 与 D16S 擂溃机形成阶梯式的小试解决方案:D101S 用微量试样快速完成大量配方筛选,节约昂贵电子陶瓷原料;D16S 承接成熟配方,放大批次验证浆料综合性能,为后续中试提供可靠工艺依据。
依托无介质、低污染、温和解团聚的核心优势,两款擂溃机有效控制陶瓷浆料内部团聚、杂质、气泡三大关键缺陷,稳定生坯品质,提升 MLCC、氧化铝 / 氮化铝陶瓷基板、陶瓷封装芯片的介电、导热、绝缘性能,是先进电子陶瓷材料实验室研发的重要配套设备。
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