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日本精密陶瓷高纯度氧化铝球Al2O3复合材料
氧化铝(Al2O3)是精密陶瓷中chang用的材料。我司供应纯度为99.5%和99.9%的产品。
电绝缘性
耐磨耗性
耐热性
耐腐蚀性
耐等离子性
半导体制造设备部品(腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘)
粉碎机部件(分级机、气流式粉碎机、珠磨机)
一般产业用部件(激光加工机喷嘴、转轴、轴承)
高精度用,精密用,耐热用冶工具(定位治具、装配夹具)
耐磨耗部件(拉丝机导向辊、钢丝通道、导轨)
电绝缘部件(绝缘子、垫片、衬套)
氧化铝是白色或乳白色的陶瓷,利用其优异的电绝缘性能,早期开始即应用在电子部品上,使用量较多,是精密陶瓷中成本低的材质。
我司供应纯度为99.5%和99.9%的高纯度产品。高纯度类型氧化铝的机械强度高、耐腐蚀性优异,可生产大型产品。
此外,由于其具有优异的耐等离子特性,也可用于CVD设备或蚀刻设备的部件。
日本精密陶瓷高纯度氧化铝球Al2O3复合材料
型号 | 特点 | 密度 | 杨氏弹性模量 | 弯曲强度 | 断裂韧性 | 热膨胀系数 | 热传导率 | 体积电阻 |
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[g/cm3] | [GPa] | [MPa] | [MPa・m1/2] | [×10-6/K] | [W/m・K] | [Ω・cm] | ||
ALP01 氧化铝99.5% | 用途广泛 高刚性 | 3.9 | 370 | 440 | 3~4 | 6.3 | 33 | >1014 |
ALP02 氧化铝99.9% | 高纯度 高刚性 | 3.9 | 370 | 450 | 3~4 | 6.3 | 30 | >1014 |
热膨胀系数为RT~200℃时的测量数据。