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日本thermo红外线导入加热装置GVH198 / GVH298 / GV154
说明
只能用精que的红外光照射置于各种环境(例如超高真空或气流)中的样品,以快速加热样品而不会发生接触。
可以轻松连接到真空系统或分析仪。
Thermo Riko的主要型号。
特点
快速升温 | :大加热速度为150℃/秒,gao1500℃持续约1分钟 | |
清洁加热 | :无需担心气体的产生或热源的电磁感应 | |
局部供暖 | :仅用红外光照射样品,不加热周围区域 | |
可自由连接 | :可以连接到各种系统 |
用途
快速加热和退火样品,例如Si和SiC | |
在氧化气氛中形成氧化物晶体,形成薄膜 | |
在氢气和氮气中加热基材 | |
X射线或UV照射过程中样品的温度升高 | |
解吸气体分析仪,XPS,XRD,PLD等的加热 | |
磁场加热,非磁场加热 | |
在加压气氛中加热 | |
通过对样品施加载荷来加热 |
日本thermo红外线导入加热装置GVH198 / GVH298 / GV154
规格
红外线感应加热装置根据应用具有以下规格。 | ||||||||||||
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超高真空型GVH
型号名称 | GVH198 | GVH298 |
红外灯额定值 | 1千瓦 | 2千瓦 |
gao温度 | 1200°摄氏度 | 1400°摄氏度 |
加热面积 | φ20毫米 | |
大加热速度 | 1℃/秒 | |
大极限真空 | 5×10 -9帕 | |
冷水量 | 1升/分钟 | 2升/分钟 |
高速加热型GV / GVL
型号名称 | GV154 | GV198 | GVL298 | GVL398 |
红外灯额定值 | 500瓦 | 1千瓦 | 2千瓦 | 3千瓦 |
gao温度 | 1100°摄氏度 | 1300°摄氏度 | 1500°摄氏度 | 1600°摄氏度 |
加热面积 | φ14毫米 | φ20毫米 | ||
大加热速度 | 100°C /秒 | 100-150°C /秒 | ||
大极限真空 | 5×10 -7帕 | |||
冷水量 | 1升/分钟 | 2升/分钟 |
加压气氛类型GVP
型号名称 | GVP198 | GVP298 |
红外灯额定值 | 1千瓦 | 2千瓦 |
gao温度 | 1200°摄氏度 | 1300°摄氏度 |
加热面积 | φ20毫米 | |
大加热速度 | 100°C /秒 | |
大耐压 | 1MPa以下 | |
冷水量 | 1升/分钟 | 2升/分钟 |
快速退火红外感应加热系统GV1 / GV2 | |
底部照射型红外热处理设备RTA198 / RTA298 | |
热脱附气体分析仪GV2H | |
用于磁场中样品加热的红外引入加热系统GVL298M / GV154M / GV-M 1 | |
用于X射线形貌的红外感应加热装置 | |
XPS设备安装示例 |